中古 STS / CPX Multiplex #293601086 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX Multiplexは、半導体業界における各種材料の精密エッチングおよびアッシングを行うためのコンピュータ制御機器システムであるエッチャー/アッシャーです。それは2つの主要な部品から成っています；基板搬送ステーション（STS）とコンピュータ支援プラズマエッチングプロセス（CPX）。STS/CPXは、ウェーハをロード/アンロードポートからアッシャー/エッチャーチャンバーに安全に移動するために使用されるデバイスです。STSは、電気機械式アーム、安全な輸送モジュール、ツールチェンジャーアセンブリのセットで構成されています。腕は機械内のウエハの精密な直線を保障するために精密な動きを使用してそれを締め金で止めることによってウェーハをしっかり止めるように設計されています。ツールチェンジャーアセンブリは、エッチングおよびアッシングプロセス中に必要な部品や部品を変更する責任があります。CPXは、STS/CPXの一部であるコンピュータ制御のエッチングおよびアッシング・システムであり、エッチングおよびアッシング・プロセスのあらゆる側面を正確に制御できます。これには、温度、圧力、流量、電力、タイミングを正確に制御することが含まれます。STSは、高度なソフトウェアインターフェイスを使用してエッチングのパラメータを最適化および制御することにより、高品質のエッチングおよびアッシング結果を提供するように設計されています。STS Multiplexは、CPXツールチェンジャーの精度とコンピュータ支援プラズマエッチングプロセスを組み合わせて、エッチングとアッシングで優れた結果を得ることができるエッチャーを作成します。エッチャーは、多種多様な基材やプロセスに対して高い再現性と精度を実現することができます。また、特定のアプリケーション要件に合わせて簡単に再構成することができるため、信頼性が高く、正確で反復可能なエッチング結果を達成する必要がある人に最適です。
まだレビューはありません