中古 STS / CPX Multiplex ICP #9363068 を販売中
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STS/CPX Multiplex ICPは、酸化ケイ素や石英など様々な基板に対応できるハイエンドエッチング/プラズマアッシング装置です。マルチスロットボトムアップローダーを備え、最大12基板と2つのプロセスチャンバーをサポートします。プロセスチャンバーには、内蔵の冷却ファンとエッチングとアッシングの両方に対応する独立した高周波電源が備わっています。ashingプロセスは炭化物および水晶基質と反復可能な結果を提供します。このシステムは、Addison Engineering Advanced Digital Imaging Technology （ADIT）に基づいています。この高度なイメージング技術は、各パスに基板の高解像度画像を提供し、正確なプロセス制御を提供します。このユニットは、MEM上のシリコンウェーハ、金属、石英、液晶、その他の特殊材料などのさまざまな基板をエッチングおよびアッシャーするために使用できます。フォトリソグラフィープロセス用の薄膜層のエッチングやアッシャーにも使用できます。このマシンは、再現可能な結果を確保するためにプロセスパラメータを調整するために使用できる組み込みの自動調整機能を備えています。このツールにはコンピュータ制御アセットも内蔵されており、単一の場所からエッチングおよびアッシング処理を監視および制御するために使用できます。このモデルは、潜在的な事故を防ぐための安全インターロックシステムも備えています。STS Multiplex ICPは、半導体、医療機器、太陽光発電、LED、 MEMなどのさまざまな業界で使用できます。この装置は、フッ化水素、塩酸、硫酸、塩素ベースの化学物質など、さまざまな化学物質とも互換性があります。このシステムには、危険な化学物質や発煙からユーザーを保護する安全機能も装備されています。CPX Multiplex ICPは、一貫した結果と再現性を提供する非常に信頼性の高いエッチング/プラズマアッシングユニットです。機械は使いやすく、自動化された制御機能により、プロセスを監視および制御することが簡単になります。このツールは、さまざまな基板をエッチングしてアッシングするための便利で費用対効果の高いオプションです。
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