中古 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213 を販売中

STS/CPX Multiplex ASE ICPエッチャー/アッシャーは、ウェーハのエッチングとアッシングのための高度なツールです。これは、異なるエッチングとアッシングプロセスを異なるチャンバーで同時に実行できるマルチゾーン機器です。このシステムには、高周波電源と高度なデジタル制御システムが装備されており、ユーザーはエッチングと灰プロセスを完全に制御できます。STS Multiplex ASE ICPエッチャー/アッシャーは、誘導結合プラズマ（ICP）エッチングとアッシングの両方を提供する高効率ユニットです。高圧で高精度かつ連続的に動作するように設計されており、優れたウエハ仕上げと均一性を提供します。この機械のプラズマ源と統合されたRFマッチングネットワークは、プラズマ中の水素希釈を最小限に抑えるように慎重に設計されており、非常に滑らかなフィルムプロファイルを確保するのに役立ちます。CPX Multiplex ASE ICPエッチャー/アッシャーのICPチャンバーは、高出力密度と高圧動作に対応するように設計されており、最も複雑なエッチング作業に最適です。銅ライナーを備えており、寄生容量を低減し、エッチングプロセスの再現性とゲージ制御を向上させます。さらに、チャンバーの特別に設計された壁ストリップは、エッチングエリアの完全な360度のカバレッジを保証します。Multiplex ASE ICPエッチャー/アッシャーには、エッチング処理中にウェーハの形状とプロファイルを正確に監視および測定できる高解像度デジタルイメージングツールが装備されています。このアセットを使用すると、ユーザーは結果を保存してリコールし、時間をかけてエッチングプロセスを監視することができます。STS/CPX Multiplex ASE ICPエッチャー/アッシャーは、高品質の結果をタイムリーに提供できる非常に信頼性の高いツールです。多種多様なウェーハのエッチングとアッシングのための高度なプラットフォームを提供し、非常に複雑なプロセスを迅速かつ効率的に完了させることができます。このモデルは、さまざまな産業、医療、自動車分野のアプリケーションに最適です。