中古 STS / CPX 308PC #293826331 を販売中

STS/CPX 308PCは、金属酸化物などの硬質材料のエッチングやアッシングに最適なプラズマエッチャーおよびアッシャーです。高出力、高精度の制御構成により、タイトなエッチング仕様と優れた表面仕上げを実現します。高度な石英チャンバー設計とプロセスのチャンバ温度制御を利用して、エッチング工程を正確に調整します。この汎用性の高いエッチャーとアッシャーは、エッチング前に有機残留物を除去するための真空ベークアウト機能も提供します。STS 308PCには、自動プラズマ点火機能を備えたマルチガスダイナミックチャンバーが搭載されています。このシステムは電子的にプラズマ源アセンブリチャンバー（PEC）、プロセス圧力チャンバ（PC）、ガスバッフルチャンバー（GBC）に分かれています。プラズマタイプ、パワーレベル、ガス流量、圧力などの操作パラメータを簡単に設定および調整できます。自動化されたプロセス制御により、一貫したエッチングが可能で、再現性と正確性が保証されます。このエッチャーとアッシャーには、PLC （Programmable Logic Controller）とコンピュータシステムを介して制御される25MHz RFジェネレータがあります。PLCを介して、ユーザー設定データは永久に保存され、その後のエッチング操作で大きな精度に使用されます。コントローラーは信頼できる性能およびシステムの安全な操作を保障する自動高圧スイッチを含んでいます。さらに、CPX 308 PCには、チャンバの温度を監視するための熱電対が内蔵された高温チャンバーがあります。この機能は、最高品質の結果を得るために必要なエッチング内の正確な温度調節を保証します。さらに、このエッチャーとアッシャーの人間工学に基づいた設計により、シャッター付きの双方向ビューポートに簡単にアクセスできるため、エッチング操作の状態を完全に視覚的に確認することができます。部屋のドアはサンプルのローディングおよび荷を下すことを促進するために開閉することができます。STS/CPX 308 PCは強力で汎用性の高いエッチャーおよびアッシャーで、正確で正確で信頼性の高いプラズマエッチングおよびアッシング操作を提供します。最先端のチャンバー、自動プロセス制御、および優れた性能のためのコンパクトな設計を備えています。硬質材料のエッチングやアッシングのニーズに幅広く対応する理想的な装置です。