中古 STS / CPX 308PC #293601082 を販売中
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STS/CPX 308PC Etcher/Asherは、半導体業界のプラズマエッチングおよび剥離基板に使用される先進的なプロセス駆動装置です。高度な機能と自動化されたプロセスを念頭に置いて特別に設計されており、高速サイクル時間で効率的な基板調製を可能にします。このデバイスは、必要最小限のメンテナンスで使いやすく動作するように設計されており、厳しい基準に基づいて構築されているため、信頼性が高くなります。STS 308PCは、エッチングおよび剥離基板に関連する幅広いプロセス機能を提供します。基板に均一なガス分配を行うための強力なガスシステムを備えた大型自動チャンバーを備えています。このデバイスには、エッチングおよび剥離基板の最適な条件を達成するための高度なプロセス制御システムも装備されています。CPX 308 PCは、高い基板と低い基板の両方の固定点を持つ単一の基板から複数の基板まで、さまざまな材料をエッチングおよびストリップする機能を備えています。また、薄い酸化物層を介したエッチングを含む、均一で選択的なエッチングの両方を制御することができます。このデバイスは、サイクルパフォーマンスを監視し最適化するための統合プロセスフローシステムを備えた自動解析およびハードウェア診断が可能です。プログラム可能なプロセスパラメータとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーはデバイスを構成し、特定の要件を満たすためにプロセスを調整できます。このデバイスは、処理中の基板に低熱負荷を与えることができる省電力機能を備えています。また、資源の最適な消費を確保し、環境廃棄物を最小限に抑える経済的なシステムを備えています。STS/CPX 308 PCは、研究者や半導体業界の専門家に多くの利点を提供し、汎用性と能力の高いエッチャー/アッシャーです。洗練されたプロセス制御システムと自動化された機能により、さまざまな材料の基板をエッチングして除去するのに理想的な機器です。これは、信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いツールであり、一貫して高品質の結果を提供するために信頼できます。
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