中古 STS 310PC #9082946 を販売中

STS 310 PCは、最高品質の規格に基づいて構築され、主要な半導体デバイスメーカーの最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度なエッチングおよびアッシング機器です。コンパクトで洗練された設計と高度な技術を組み合わせ、高い生産基板加工に理想的なソリューションを提供します。310 PCエッチャーとアッシャーユニットは、迅速かつ簡単なインストールを可能にするユニークなモジュラー設計で構築されています。このモジュラー機械には、最大2つのエッチングチャンバー、2つのアッシングチャンバー、および各チャンバーの調整可能な真空設定が含まれています。工具部品は取り外し可能に設計されており、基板の迅速な積み降ろしが可能です。統合された半導体カセットローダー資産は、ウェーハや基板のさまざまなサイズを処理することができます。STS 310 PCエッチャーおよびアッシャーモデルには、特定の処理要件を満たすために精度で調整できる一体型真空装置が装備されています。システムの高度なプロセス監視と制御は、高精度のエッチングとアッシング機能を提供します。高度な技術機能に加えて、このユニットはユーザーの安全性を念頭に置いて設計されており、ボタンを押して起動できる緊急機能を提供しています。性能と信頼性を向上させるために、310 PCエッチャーとアッシャーマシンは、汚染レベルが安全限界を超えた場合にチャンバーの自動シャットダウンを含む空気監視およびスクラビングツールで構築されています。資産運用を最適化し、メンテナンスを低減するために、オートローダーのパージ装置とウェーハカセット用のアンチクロージングシステムを装備しています。さらに、このシステムは、ユニットの周りの粒子の蓄積を低減するために低圧排気量で設計されており、基板の正確な処理を確実にするためにPLC制御温度制御されています。高度なSTS 310 PCエッチャーおよびアッシャーマシンは、業界標準の安全要件に準拠しながら、最も過酷な半導体の処理要件を満たすように設計されています。この洗練されたツールは、最高レベルの精度と信頼性を達成することができ、中量から大容量の基板処理に独自に適しています。