中古 SSEC Evergreen Series II 203 #9260711 を販売中
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ID: 9260711
ウェーハサイズ: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Series II 203は、お客様のウエハーの統合処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、パターン転送、エッチング、薄膜成膜、計測などのウェハアプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供し、ハイスループットウェハの製造を可能にします。シリーズII 203は、信頼性と耐久性に優れたEvergreen シリーズIIプラットフォームをベースにしており、さらに顧客のウェーハをシームレスかつ効率的に処理するための高精度ウェーハハンドリングシステムを備えています。II 203シリーズは、ダイレクトドライブ技術を使用して、より高い精度と生産品質を実現します。この高性能でリソース効率の高いエッチャー/アッシャーは、正確で正確な統合モーションコントロールとダイレクトドライブ技術を使用して、お客様のウエハの処理に最適な品質と再現性を提供します。また、高度な予熱蒸着・エッチング（PPVE）プロセスを採用し、お客様のウェーハ上で極めて薄く、密集した機能を生産することができます。シリーズII 203は、信頼性の高い10位置ロボット制御ウェーハ処理システムを搭載しており、複数のウェーハの処理が容易になります。さらに、効果的なフローパネルインターフェイス管理システム（FPI-MS）を備えており、プロセス活動をリアルタイムで継続的に監視および分析できます。この機能により、特定のお客様の要件に対して迅速かつ自動的にウェーハプログラムのチューニングが可能になります。このデバイスは耐久性のあるステンレス製のチャンバーを備えており、真空定格は最大10+5 torrです。さらに、統合されたクォーツウィンドウと温度監視用の組み込みセンサーが付属しています。シリーズII 203はまた、処理される材料の最高品質と均一性を確保するための排他的な技術の範囲が付属しています。これらの技術には、キャリアガス、プロセスドリフト、ウェハロット最適化、および高度なデータロギング機能が含まれます。安全面では、シリーズII 203には高度な安全機能が搭載されています。インターロック、衝突防止システム、フェイルセーフメカニズムを利用して、人員とウェーハを安全に保ちます。最後に、デバイスはユーザーフレンドリーなインターフェイスとコントロールの範囲で設計されており、デバイスの操作とメンテナンスが簡単で手間がかかりません。
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