中古 SPTS VPX Pegasus #9051077 を販売中
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販売された
ID: 9051077
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
ICP (DRIE) Etcher, 8"
Configured for Deep Silicon Etching
Etch Rate: 25um/min
(1) Chamber: ICP, Pegasus
Cluster core: BROOKS MX400
Vacuum Cassette Station
Cassette to cassette auto-loading system
Windows Software control PC
PLC Based Control System
Single Vacuumm Cassette Load-Lock & Cluster Core
Central 4-port cluster core with Brooks Robot
Vacuum Cassette Handler: Brooks VCE5
Robot Arm Adapter: Brooks for 1x200mm substrates
Chuck: 8" TD-ESC (Thick Dielectric Electrostatic Chuck)
Turbo Pump: Leybold MAG2000CT
Ramped Platen Controller
Vacuum Pump: Edwards iQDP80 with Blower
RF Generators: MKS 6500W (13.56MHz) + 300/30W (13.56MHz) + LF5 500W (380KHz)
Pro Electrostatic Electrode: -20ºC to +70ºC
(4) Cartridge Heaters: Watlow, 700W, for Chamber Heating
Cleanroom Panel: (4) color Light Tower and Audible Alerts
Chiller for Coil: SMS Thermo HRZ001 - L2 - DY
Chiller for Platen: SMS Thermo
HRZ002 - W - D- Platen Chiller Temp Monitoring
Platen Chiller Temp Monitoring
Includes High Reliability Upgrade
Offers the most advanced technology for DRIE of Silicon
Deep Silicon Trench Package
Switched SOI process upgrade
Smooth Sidewall Package including digital MFCs mounted on source
Gas configuration:
C4F8 @ 400 SCCM
SF6 @ 1200 SCCM
O2 @ 200 SCCM
Ar @ 200 SCCM
N2 @ 200 SCCM
2006 vintage.
SPTS VPX Pegasusは、ディープCD （DCB）のバッチ機能と直径200mmまでのシリコンウェーハ、MEMS、その他の基板のエッチング/アッシング機能を提供する完全自動エッチャー/アッシャーです。これは、高度なエッチング、プラズマアッシング、および化学酸化物ストリッピングのための高度なソリューションです。VPX Pegasusには、エッチャーチャンバーとアッシングチャンバーの2つのプロセスチャンバーが付属しています。エッチャーチャンバーは、最大2500ワットの電力で複雑なエッチングレシピを処理することができます。高度なエッチャーは高い選択率を達成することができ、深いCDのための統合された発電機を備えています。Ashing Chamberは、プラズマアッシング、ガスアッシング、および化学酸化物ストリッピングのための高温を提供します。高度の温度調整および高い熱伝達レートは一貫した、均一なasherの結果を与えます。SPTS VPX Pegasusは全自動エッチャー/アッシング装置です。コンピュータ制御のセットアップとプロセス実行、メモリストレージとリカバリを提供し、一貫性のあるプロセス結果を保証します。工場出荷時にインストールされたレシピモジュールを使用すると、エッチレシピを安全なレシピライブラリに保存できます。また、高速サイクリング時間を実現するヒートパイプアッシング技術と、基板の積み降ろしを容易にする自動ウェハローディングユニットを備えています。また、エンドポイント検出、フィーチャー認識、パーティクル検出などの高度なプロセス分析も含まれています。粒子検出機能により、エッチング/アッシング処理の結果を直接検証できます。VPX Pegasusは、エッチングおよびアッシングプロセス用のハイエンド産業用途に対応するように設計されています。高精度、反復可能な結果、高いスループット、堅牢な処理能力を提供します。このツールは、MEMS、シリコン、GaAsなどのハイエンド基板に適しており、高度なエッチングおよびアッシング用途に適しています。
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