中古 SPTS Sigma #293751255 を販売中

SPTS Sigmaは、高度な微細加工プロセスでフォトレジストやその他の材料をウェーハから除去する目的で設計されたエッチャー/アッシャーです。ワークとエッチャーの間で容易に移動できるように設計されています。シグマは非常に低い粒子生成を作り出すように設計されているプロセス部屋を含む機能の高精度機械です；高いプロセス速度；そして優秀なエッチング率の制御。SPTSシグマエッチャーの主な特徴は、エッチング機能とアッシング機能の両方を1つのユニットに統合した真空/プラズマ装置です。つまり、複数のプロセスフロー経路に対応できるため、効率的なインライン処理が可能です。さらに、このシステムには、ワークに応じてプロセスを最適化し、一貫したエッチング結果を保証する自動真空スイッチングが含まれています。制御のために、Sigmaには、ユーザーが必要なエッチングに必要な量、機能、パラメータを正確にプログラムできる高度なソフトウェアが装備されています。これは、手動および完全に自動化されたプロセスの両方に使用できます。SPTS Sigmaは、安全性とメンテナンスの観点から、ユーザーの安全を確保するためにさまざまな対策を講じています。これには、エッチャードアが開いているときに機械が作動しないようにするインターロックユニットと、潜在的な水漏れを制御する水槽圧力制御機の機能が追加されています。さらに、Sigmaは最小限の予防および診断メンテナンスで信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されています。全体として、SPTS Sigmaは、高精度の結果、安全性、信頼性を実現するように設計されたさまざまな機能を備えた、強力で費用対効果の高いエッチングおよびアッシングツールです。マイクロファブリケーションプロセスでの使用に最適であり、プロセスを最高水準に引き上げるために探している人に最適です。