中古 SPTS Sigma FxP #9353219 を販売中

SPTS Sigma FxPは、高精度、高スループットのエッチングと様々な材料のアッシングを可能にするように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高レベルのパフォーマンスと低コストの所有コストを兼ね備えており、研究および産業目的の両方に最適です。このユニットは、3つの800W、 13.56MHz源の磁石を一連のパルスプラズマ技術を使用して、幅広い材料とウエハサイズにわたって精密で再現可能なエッチングとアッシングの結果を提供します。機械はコンピュータ制御プロセスシーケンサーによって制御され、エッチングとアッシングのレシピを簡単にカスタマイズできます。このツールにはオンボードの真空チャックが搭載されており、最大4"、8"または12"ウェハの処理に使用できます。Sigma FxPは、簡単なレシピのセットアップと監視のための高解像度の光学ビューポート、エッチングとアッシングプロセスの二次監視のための2 ″のビューポートなど、幅広い高度な機能を備えています。このアセットには、プロセス工程間のウェーハのロードを自動化し、時間を節約し、効率を向上させる自動ウェーハローディングモデルも含まれています。SPTS Sigma FxP機器はまた、既存のレシピを変更し、ユーザーのニーズに最も適したカスタムレシピを作成するための十分な柔軟性を提供します。これは、システムのオンボードレシピデータベースを介して達成することができます。さらに、このユニットは所有コストが低く、わずか数時間の使用で素晴らしい結果が得られます。全体的に、Sigma FxPエッチャーとアッシャーマシンは、所有コストと優れた結果を最小限に抑えながら、高度で正確なエッチングとアッシングのニーズに最適なソリューションを提供します。このツールは、特定のニーズや要件を満たすために簡単にカスタマイズできるため、研究や産業用の設定にも理想的な選択肢です。