中古 SPTS Sigma Fx P300 #9289687 を販売中
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ID: 9289687
ヴィンテージ: 2015
System
(2) HSE
Etch chamber
(3) Process chambers
MWD Degas chamber
MWD Degas chamber height: 2.5m
(2) Transport chambers / Load lock chamber
TM Chamber
OTF Sensor
(3) EFEM Load ports
Dual blade for high throughput
Labyrinth chambers
(4) Dry pumps:
iGx 600N
(3) iGx 100L
2015 vintage.
SPTS Sigma Fx P300は、半導体加工および精密ナノテクノロジー用途向けに設計されたエッチャーおよびアッシャー装置です。それはエッチング、スパッタリング、および他のプロセスのための独立した精密なビーム位置を持つ強力なeビーム蒸発器です。その特徴は、畳み込みフィルタとパターン認識を備えた高解像度の画像認識システムを含みます。P300は、真空の完全性を確保するためにユニークな真空封筒スタイルの構造を特徴とする2部構造のチャンバー設計で構築されています。このチャンバーアーキテクチャは、真空とウルトクリーンな作業環境を明確に分離することにより、ポンピング損失を低減し、粒子トラッピングを低減します。Sigma Fx P300は、複数の成膜およびエッチング処理を同時に実行できるマルチソース設計を採用しています。このユニットはまた、自動ステージと複数の基板インタフェースを備えており、幅広い構成を可能にします。搬送機、ロボットアーム、コンベアなどの部品を使用して、大規模な生産環境を実現します。P300ツールは、金属や誘電体の層の堆積とエッチング、誘電体の構造の作成と堆積、高周波アプリケーションでの構造アレイの3Dパターニングなど、さまざまなタスクを処理するために構築されています。超高真空（UHV）から大気まで幅広いプロセス圧力を管理できる真空アセットを備えています。さらに、P300にはモンテカルロベースのカーブフィッティングアルゴリズムがユーザー制御下にあり、さまざまなプロセスのレシピを簡単に調整できます。CADやPhysics属性などの設計ツールへのインターフェイスも、プロセスレシピの作成を大幅に制御します。温度・湿度制御機能も備えており、クリーンルーム環境での使用Class1可能です。包括的なアラーム装置とメンテナンストラッキングにより、予防的なメンテナンス機能が提供され、必要に応じてアラームが発生します。SPTS Sigma Fx P300は、ナノテクノロジーの用途に適した強力で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーであり、その包括的な機能により、半導体加工に最適です。
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