中古 SPTS PRIMAXX #293811099 を販売中

SPTS Primaxxは、1つのプラットフォームで複数のウェーハ処理機能を提供する高度なEtch/Ashプロセスツールです。革新的な設計と先進技術により、TCO（総所有コスト）を低減し、半導体業界にとって理想的なプロセスツールとなります。この装置は、独自の低消費電力プラズマエッチング/アッシュと高スループット反応イオンエッチング/アッシュ（RIE）プロセスを備えています。2-in-oneシステムは、エッチングと灰の両方の動作のための双方向電子ビームを往復しています。最大200mmのウエハ加工が可能で、プラズマの均一性は99。98％です。Primaxxはまた、芳香族化合物フィルムヒーターと電子ビーム発熱体を備えた、高速かつ効率的な加熱ユニットを備えています。このマシンは、最大400°Cのウェーハを10分以内に加熱することができます。これにより、より高いエッチング速度とより高い蒸着速度で均一なフィルムを作成し、プロセス性能を向上させることができます。SPTS Primaxxは、シリコン、ガラス、ヒ素ガリウム、リン化インジウムなど、幅広い材料を処理することができます。また、MEMS、 LED、オプトエレクトロニクスコンポーネントなどの特殊デバイスも処理できます。Primaxxのモーションコントロールツールは、高精度のエッチングと灰の操作のために設計されています。統合された連動機構を備えており、正確な位置決めとアライメントで1つのウエハ上で複数の動作を行うことができます。SPTS Primaxxは完全に自動化されたソフトウェア制御プロセスを実行します。ハイスループットのシングルパスエッチング/アッシュ動作が可能です。これにより、研究開発と生産の両方のアプリケーションに適しているため、幅広い材料を迅速かつ正確に処理できます。Primaxxは幅広いプロセスオプションを提供し、特定のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズできます。これには、エッチングと灰、エッチングと堆積、または2つの組み合わせが含まれます。また、ウェーハツーウェーハプロセスの一貫性を実現する自動キャリブレーション資産も備えています。自動化されたモデルはリモートで管理および監視することができます。SPTS Primaxxは、優れたコストパフォーマンス比を提供する高度で汎用性の高いエッチング/アッシュツールです。大量生産から探査研究まで、さまざまな用途に適しています。その強力な機能と自動化されたプロセス制御により、半導体業界にとって理想的な選択肢となります。