中古 SPTS PRIMAXX #293810530 を販売中

SPTS Primaxxは、最も要求の厳しいマイクロマシニング要件に適した精密ドライエッチングおよびアッシングソリューションです。Primaxxは、信頼性の高い基板回転コンポーネントを使用して、エッチング化学および基板温度を正確に制御し、一貫して高品質の製品を提供します。SPTS Primaxxは、低応力ウェーハホルダーを追加することで、最大200mm径のシリコンおよび複合材料を処理できます。Primaxxは最新のハードウェアとソフトウェアで構築されており、幅広いプロセス機能と柔軟性を実現しています。ユニークなプロセスフローコントロールメニューを使用すると、ユーザーはユニークなレシピを簡単に選択し、複数のウェーハにわたって繰り返します。SPTS Primaxxは、エッチング薬品を手動で補充する必要を排除する自動循環ポンプ管理を進めています。Primaxxは、研究および生産設備における高スループット生産のために設計されています。エッチセレクトレシピを幅広く取り揃えており、細部のパターン化に必要な条件を整えています。また、エッチングセレクト技術により、頻繁なスクラブの必要がなくなり、長期的なエッチング精度が向上します。SPTS Primaxxには、オープンアーキテクチャのPCベースのプロセス制御システムも含まれており、エッチングとクリーンなパラメータを設定するための完全なプロセスと診断ツールを備えています。Primaxxは、消費コストを最小限に抑え、ウェーハ操作を最大化しながら、調整可能なギャップフロー形成、調整可能なガス流量制御、調整可能な圧力制御設定など、あらゆる機能を備えた多目的で堅牢なエッチャー/アッシャーです。また、様々なガイドカーやウェーハキャリアと互換性があり、定期的なメンテナンスにより、SPTS Primaxxは最も厳しい基準を満たしています。