中古 SPTS MVD150 #9280194 を販売中

SPTS MVD150は、MEMS、フォトニック、3Dインテグレーション製造などの幅広いアプリケーション向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。25MHzおよび130MHzの周波数で無線周波数（RF）技術を使用して、50˚Cから1000˚Cまでの幅広い温度制御プロセス温度にわたって、パターニング用の材料を非常に選択的かつ正確に除去します。このシステムの主な特徴は、300x300x150mmの比類のないチャンバーサイズ、最大1000slmの高いガス流量を持つ真空ユニット、精密な流量制御のための磁気および質量流量コントローラ、および長時間処理のための遠隔基板技術です。このマシンは、プロセスパラメータのコンピュータ制御を含む高度なプロセス制御を提供します。さまざまなセンサーやモニターを介して継続的なフィードバックとモニタリングが可能で、重要なウェーハ温度、圧力、位置の厳密な制御が可能です。さらに、チャンバー圧力、RF電力、エッチング深さなどの複数のプロセス制御パラメータをプログラムして最適化することで、優れた結果を得ることができます。このツールには、エッチングとアッシング化学配送システムのスイートが装備されており、正確に設計されたエッチングとアッシングに必要な化学を選択する多目的な能力を提供します。これは、特定の材料の組み合わせのためのプロセスを最適化するために、プロセス化学の広範な範囲で動作するように最適化されています。さらに、この資産は、さまざまな業界標準を満たすためにテストされ、認定されており、厳格な品質と安全要件を満たすことができます。ANSI/RIA NIST-2011、 ISO 9001：2015、 Pacific Council Chambers （PCC）準拠、およびSEMI S2準拠などの認証を取得して、最適な再現性、清潔性、および低所有コストを実現するように設計されています。低圧モード（LPV）により、アッシングプロセス中の一貫した正確な動作が可能になり、プロセスと統計的変動を減らすことができます。さらに、プロトコルライブラリ、遠隔監視装置、自動積み下ろしシステムなど、生産スケールのエッチングとアッシングにも幅広く対応しています。MVD150エッチングシステムは、さまざまな材料やプロセスに対応できる強力で精密なエッチングおよびアッシングユニットを探しているエンジニアやメーカーにとって理想的な選択肢です。これは、エッチング/灰の生産に最先端のアプローチを提供し、時間、リソース、お金を節約しながら、一貫した反復可能な結果を可能にします。