中古 SPTS LPX APS Pro #9294793 を販売中

SPTS LPX APS Proは、研究および産業用途向けに特別に設計された高度なウェーハ処理エッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、フロントエンドのロードとアンロード、および現場でのプロセス制御と監視の両方における最新技術を備えた高度なSmartProcess™プラットフォームで構成されています。このユニットは、高い信頼性、高速性、効率性を備え、優れたユーザーフレンドリー性、拡張性、柔軟性を提供するように設計されています。その主な機能は次のとおりです。高エッチングとアッシング効率-この機械には、高度なプラズマ発生器と高度なガス混合システムが装備されており、エッチングとアッシングのプロセスを優れた精度と制御を提供します。これにより、反復回数が少なくプロセス時間が短縮され、スループットが向上します。SmartProcess™プラットフォーム-このツールには、ユーザーがプロセスパラメータと設定をカスタマイズできる高度なプロセスオートメーションプラットフォームが装備されています。これにより、ユーザーは特定のニーズに合わせて資産を最適化し、効率とパフォーマンスを最大化できます。現場でのプロセス制御と監視-このモデルには、エッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視および制御できる強力なプロセス監視装置が装備されています。これにより、ユーザーは潜在的な問題をすばやく特定し、それに応じてプロセス設定を調整できます。汎用性-このシステムは非常に汎用性が高く、シリコン、シリコン・オン・インシュレーター（SOI）、エピタキシャル、ガリウム・ヒ素（GaAs）などのさまざまな種類のウエハに使用できます。さらに、リソグラフィ、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、イオンミリングなど、幅広い用途に使用できます。使いやすい-このマシンは直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、ユーザーはプロセスを迅速かつ簡単に設定できます。さらに、このツールには、ユーザーが素早く簡単に資産を習得できるようにする包括的なドキュメントとトレーニング資料も含まれています。高精度エンジニアリング-モデルは、優れた精度と制御のために高精度エンジニアリングで設計されています。さらに、寿命の延長とメンテナンスコストの最小化を目的に設計されています。スケーラビリティ-この機器は、より大規模で複雑なエッチングおよびアッシングシステムを作成するために簡単に構成できるモジュラーコンポーネントで設計されています。全体として、LPX APS Proは、最先端の技術と高精度エンジニアリングを組み合わせ、最適な効率、性能、精度を実現する高度なエッチングおよびアッシングシステムです。それは研究および産業適用の両方のために適して、非常に信頼でき、速く、使いやすいように設計されています。