中古 SPS Plamax #293664085 を販売中

SPS Plamaxは、半導体デバイス製造プロセスで使用される高性能エッチングおよびアッシングシステムです。それは短期および高温支えられたashingの適用を促進するように設計されている高温、自動化されたエッチングおよびashing単位です。Plamaxは、炉、RFジェネレータ、RIEツールの3つの主要コンポーネントで構成されています。炉は最大1100°Cの温度範囲を持ち、正確な制御で急速な温度ランプ機能を提供します。それはまた200mmから400mmまで及ぶいろいろな基質を処理するために用具を可能にする縦の上昇の処理を含んでいます。RFジェネレータは、可変出力を提供し、厚い材料をエッチングしてアッシングすることができます。RFジェネレータは、Ar/O2からSF6/O2まで幅広い処理ガス混合物を備えており、エッチングとアッシングの結果を高度に制御することができます。RIEツールは、精密なエッチング深さ制御とエッチングとアッシングの滑らかさを提供し、より高いアスペクト比とより良いアスペクト制御を可能にします。また、プロセス制御システムを自動化し、高精度で再現性の高いプロセスを実現し、再現性と一貫性を最大限に高めます。SPS Plamaxは、バッチ構成とシングルウェーハ構成の両方が可能です。カセットからカセットへの自動転送により、シームレスなウェハハンドリングと高速操作が可能です。特殊モジュールを使用して基板位置を制御し、精密なアライメントを提供し、不均一なウエハ構造の影響を最小限に抑えます。Plamaxは、高い歩留まり、高精度、高速エッチングおよびアッシング処理を提供するように設計されています。その優れたプロセス制御機能と信頼性の高いシステム性能により、デバイスの製造に最適です。SPS Plamaxは、多彩なプロセス機能を備えており、さまざまな基板の厚さのさまざまな材料のエッチングとアッシングの両方に使用できます。