中古 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863 を販売中

SPPT/SPTS VPX Pegasusは、半導体および関連産業向けの先端製造ソリューションのリーディングイノベーターであるSPPT Technologiesによって開発されたエッチャー/アッシャーです。この汎用性の高いエッチャー/アッシャーは、酸化、金属エッチング、沈着および平面化プロセスを実行し、基板の損傷とプロセスの変動を最小限に抑えながら、複数の基板にわたって一貫した品質を確保するように設計されています。SPPT VPX Pegasusはマイクロポジショナーを採用し、エッチング、酸化、平面化の速度を正確に制御しながら、プロセスの均一性と再現性を維持します。この機能により、迅速かつ正確なプロセスキャリブレーションが可能になり、スループットと精度が向上します。さらに、ペガサスの革新的な真空装置とチャンバー設計は、汚染を低減し、最適なプラズマ条件を確保するのに役立ち、優れたエッチングと酸化の結果を可能にします。SPTS Pegasusは、正確なプロセス制御とユニット監視を可能にする強力で使いやすい制御システムを備えています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、迅速かつ正確なプロセスパラメータが保証され、高度な機械およびプロセス設定に簡単にアクセスできます。これにより、再現性とプロセスの最適化が向上します。品質と信頼性を向上させるために、SPPT/SPTS Pegasusには、自動プロセス安全チェックやオプションの安全、セキュリティ、手続きアラームなどの安全メカニズムも統合されています。最高の安全基準を確保するために、すべての安全条件はツールによって監視され、あらゆる欠陥が自動的に検出されて是正措置が行われます。SPPT Pegasusは、濡れたエッチングと乾燥したエッチング、酸化と堆積、および平面化プロセスの両方を実行することができる万能エッチャー/アッシャーです。幅広いプロセス能力により、ユーザーはさまざまな基板や材料に複雑な構造を作成することができます。SPTS Pegasusも設定可能に設計されているため、ユーザーは特定のニーズに合わせてアセットを調整できます。これは、さまざまな材料や基板のエッチングと平面化のための信頼性と効率的なプロセスを必要とする人にとって理想的な選択肢となります。