中古 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648861 を販売中

SPPT/SPTS VPXペガサスは、高解像度フォトリソグラフィ処理に使用される高度なエッチングおよびアッシング装置です。SPIC Technologiesによって開発されたこのデバイスは、シリコン、SiO2、ポリマーなどのエッチングと灰の材料に非常に正確で信頼性の高い方法で使用されます。SPPT VPX Pegasusには、統合された12クベット位置決めステージ、信頼性の高い石英真空チャンバ、マルチゾーン酸化、高解像度キャパシタンス抽出レーザー干渉計（CELIF）などのさまざまな機能が搭載されています。これらのコンポーネントはすべて、エッチングとアッシング材料の正確性と品質を確保するのに役立ちます。12カベットの位置決めステージは、エッチングおよびアッシュ加工された材料のすべてが処理前に完全に整列されるようにするのに役立ちます。これは、位置分解能と精度、加速度、速度、直線性など、さまざまな調整パラメータを介して行われます。一方、水晶真空チャンバーは、エッチングとアッシングプロセスに信頼性の高い安全な環境を提供します。それは固体基盤のプラットホームおよびステンレス鋼の壁で構成され、危険な蒸気がワークスペースに入ることを防ぎます。さらに、水晶真空チャンバーには自動真空システムとグラファイト充填インテリアが装備されており、非常に長い寿命を確保しています。高性能CELIFレーザー干渉計は、高分解能キャパシタンス抽出に使用されます。その高度なスキャン機能は、プロセス内の表面汚染を測定し、同時に測定フィードバックを提供することができます。これにより、エッチングおよびアッシングプロセス中に最高レベルの精度が達成され、維持されます。最後に、SPTS VPXペガサスユニットは、独自のマルチゾーン酸化技術によりマルチゾーン酸化も可能です。この技術を利用することで、各種基板や材料にさまざまな熱酸化プロセスを適用することができ、望ましい層の厚さとエッチング/アッシングの結果を得ることができます。全体として、VPX Pegasusは強力で信頼性の高いエッチングおよびアッシングマシンです。その豊富な機能と最先端の技術により、正確で一貫した結果を提供することができます。エッチングからアッシング、マルチゾーン酸化まで、SPPT/SPTS VPX Pegasusはエッチングとアッシングプロジェクトを成功させることが保証されています。