中古 SPPT / SPTS CPX-APS #293648886 を販売中

SPPT/SPPT/SPTS CPX-APSは、シリコンエッチング、SILCエッチング、タングステンエッチング、アルミエッチングなどのプロセスに使用される高度なエッチング/アッシャーです。この装置は、高アスペクト比および高選択性プロセスを含む、最も先進的なエッチングプロセスに最適です。無線周波数（RF）と直流（DC）の電源を独自に組み合わせて動作し、プロセス制御と精度を向上させます。SPPT CPX-APSは、TFD （Thin Film Deposition）プロセスを1つのユニットでエッチングおよびアッシングするために設計された、完全に統合された堅牢なエッチングチャンバーシステムです。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンHMI （Human Machine Interface）制御を備えており、1つのプロセスで複数のエッチング/灰シーケンスに簡単にプログラムできます。このエッチャー/アッシャーは、250*Cまでのチャンバー温度、187 mTorrまでのエッチング/アッシュ圧力、および最適なプロセス性能のためのアルゴン/酸素化学物質の組み合わせなど、幅広いプロセスパラメータを提供します。SPTS CPX-APSは、ICレベルの製造において優れたプロセス均一性、再現性、速度を提供します。エッチャー/アッシャーは、速度を犠牲にすることなく、特徴の非常に均一なエッチングを可能にする200nmの酸化速度レベリングユニットを備えています。また、ディープトレンチエッチングが可能で、最大10：1以上のアスペクト比が可能です。さらに、プロセスコントロールを最適化した3Dエッチング/プロファイリング機能により、IC劣化を最小限に抑えた高いプロセス再現性と精度を実現します。CPX-APSは、ICの厳しい安全要件を満たすように設計されています。このツールは、プロセスの誤動作を正確に検出し、リアルタイムの通知を提供する革新的な安全シールドアセットを備えています。また、バキュームインターロックモデルを内蔵しており、プロセス過剰エッチングやアウトガス発生時にチャンバーを自動的にシャットダウンすることで、消去不能なIC損傷を防ぎます。SPPT/SPTS CPX-APSには、リアルタイム診断、機械およびプロセス状態診断、プロセスデータなど、さまざまな高度な診断ツールが装備されています。装置の高度な機能と機能により、大量のIC製造および極端なプロセス要件に非常に適しています。さらに、エッジ絶縁制御システム機能により、エッジの動きが遅くなり、エッジ保護が追加され、デバイスの信頼性が向上します。結論として、SPPT CPX-APSは強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーであり、高度なエッチングおよびアッシング機能と優れたプロセス制御を提供します。高度な安全機能と幅広いユーザーフレンドリー機能を備えた設計で、IC製造に最適です。このユニットは、優れたプロセス再現性と精度、優れたプロセス性能と均一性を提供します。