中古 SPP MUC 21-098 #9239652 を販売中

SPP MUC 21-098は、主に半導体業界でエッチングおよび/またはアッシングに使用される特殊な装置です。直径6インチまでのサンプル処理能力を備え、スループット能力を大幅に向上させる3次元チャンバー構造を備えています。エッチャー/アッシャーは、ロボット工学やデータ管理のためのコンピューター制御処理やオープンアーキテクチャなど、多くのオートメーションオプションを提供しています。13。56MHz〜50MHzの周波数範囲を持つ3源2段RFジェネレータを搭載し、再現可能な結果を得るために最適化されたプロセスを実行する機能を備えています。プラズマ源は、ICPと容量結合モードの両方の動作を処理するように設計されています。このガスは、水晶チューブの誘導結合プラズマ（ICP）機能によって加熱され、中央ロッドと閉じ込めリングへの電力を独立して制御することで、最適化されたプロセス監視を可能にします。Ashingプロセスは、RFベースのエッチング源と、チャンバー全体に均一な基板エッチング用の磁気駆動ガス分配システムに依存しています。自動シャッターオプションにより、精度と再現性がさらに向上し、必要に応じて4つの方向を切り替えることができます。MUC 21-098にはマルチモードスーパーソニックソースも組み込まれており、より高いエッチング速度と正確なプロファイル制御機能を実現しています。超音波ノズルは、プロセスの要件に合わせて3つのモードで動作し、クリーンで滑らかな壁と円形のフィーチャーウォールを可能にします。さらに、SPP MUC 21-098はオプションのサンプル例外をサポートし、最大25 mmのサンプル高さをサポートできる精密ステージ移動装置を備えています。サンプルは、均一なエッチングと均一な相互接続ラインを確保するのに役立ちます。最後に、MUC 21-098には、圧力連動ドアと近接センサーからなる安全システムが内蔵されています。これにより、エッチャー/アッシャーは常に安全かつ安全に動作します。