中古 SOLID STATE EQUIPMENT CORPORATION / SSEC CSU #9329405 を販売中
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ID: 9329405
Wafer etcher
Minimum / Maximum air pressure: 80-100 psi
Minimum water flow: 20 psi.
SOLID STATE EQUIPMENT CORPORATION/SSEC CSUは、さまざまな産業材料に精密加工を提供するために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、金属、セラミックス、プラスチック、その他の特殊材料を含む幅広い基板を正確にエッチングおよびアッシングすることができます。最先端の技術と直感的なユーザーインターフェイスにより、SSEC CSUは2000 mm/minまでの高速で高精度な結果を生成します。SOLID STATE EQUIPMENT CSUのユニークな設計は、メインエッチングチャンバー、ウェーハローディングステーション、ガス供給システム、反応チャンバー、コントローラで構成されています。メインチャンバーには、エッチングバス、RF電源、排気ユニットなど、デバイスを操作するために必要なすべてのコンポーネントがあります。エッチバスの特殊設計は、選択性と均一性を向上させながらスパークや汚れを軽減または除去するのに役立ちます。ウェーハローディングステーションは、エッチングとアッシング後のウェーハの簡単なロードとアンロードを可能にします。高速マニピュレータは、エッチングチャンバーとロボットアームの間にウェーハを供給し、効率的なマテリアルハンドリングを支援します。同時に、エッチングまたはアッシング処理の進行を監視するために、精密顕微鏡が待機しています。ガスデリバリーマシンは、エッチングまたはエッチング/洗浄ガスの均一な流れを維持するのに役立ちます。さらに、ガス供給ツールにはフローレギュレータが装備されており、エッチングまたはアッシング時間を正確に制御できます。また、差動エッチングやアッシングなどの信頼性の高い再現性の高い操作や、電気めっきや蒸着などの特殊な加工用の反応チャンバーも設置されています。CSUアセットの中核には、パワフルで直感的なコントローラがあります。リアルタイムモニタリング、高度なデータ分析、生産性の最大化に役立つ制御システムなど、優れた機能を提供します。また、将来の操作のトラブルシューティングと再現のために、すべてのプロセス変数を安全に記録できます。さらに、コントローラには使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されているため、複雑なエッチングやアッシングレシピを簡単にプログラムできます。SOLID STATE EQUIPMENT CORPORATION/SSEC CSUは、さまざまな材料の信頼性と精密なエッチングとアッシングを必要とするユーザーにとって理想的なソリューションです。最先端の技術、先進的なガス供給システム、反応室、およびユーザーフレンドリーなコントローラは、産業専門家にとって貴重な選択肢です。
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