中古 SINGULUS / STANGL Singular #9171384 を販売中
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ID: 9171384
ヴィンテージ: 2011
PECVD System
With (2) IR heating stations
(2) ICP
Deposition: a-Si, Poly Si
Passivization layers: SiO2, Si3N4 and Al2O3
2011 vintage.
SINGULUS/STANGL Singularは、STANGL Technologies社の高性能エッチング装置です。それは現代電子工学の適用の要求を満たすために優秀なエッチングおよびashing解決を提供するように設計されています。STANGL Singularは、実証済みのSINGULUSプラットフォームに基づいており、直径500mmまでの基板を取り扱うことができます。ドライエッチングとウェットエッチング、アッシングの両方が可能で、半導体とMEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)の両方の技術に適しています。SINGULUS Singularのエッチングおよびアッシングプロセスは、非常に正確で制御された結果を提供し、高い信頼性と再現性を実現します。モジュール式で柔軟なシステム設計が特徴で、最大3つのプロセスチャンバーをサポートし、最大2つの独自シャッターを備えています。これらの各モジュールは、異なるサイズと種類の基板をサポートすることができ、ユーザーは1つのプロセスから別のプロセスに素早く切り替えることができます。Singularは、低所有コストを維持しながら、優れたエッチングとアッシング性能の組み合わせを提供するように設計されています。これは、スタンドアロンユニットとして動作するか、生産ラインに統合することができます。さらに、機械のモジュール式の性質は容易なカスタマイズを可能にし、ユーザーは自分のニーズやアプリケーションに最も適したツールを構成することができます。SINGULUS/STANGL Singularは、高度なユーザーインターフェイスの利点もあり、アセットの簡単なプログラミングと操作を可能にします。また、リアルタイム監視機能を備えており、ユーザーはモデルのパフォーマンスを追跡することができます。さらに、STANGL SingularにはData LoggingとPerformance Evaluationツールがあり、時間の経過とともに機器のパフォーマンスを追跡し、パフォーマンスを最適化するための調整を行うことができます。SINGULUS Singularは、エッチング用途の最高水準を満たすように設計されています。ETCH認証およびETCH準拠のため、幅広い用途に適しています。さらに、顧客がシステムから可能な限り最高のパフォーマンスを得ることを確実にするために、広範なサポートネットワークに支えられています。全体的に、Singularは信頼性が高く、費用対効果が高く、機能豊富なエッチングユニットです。優れたエッチングおよびアッシングソリューションを提供するように設計されており、幅広い用途に適しています。利便性を高めるために、このマシンは高度にカスタマイズ可能であり、ユーザーはニーズに最も適した設定を行うことができます。SINGULUS/STANGL Singularは、高精度の結果が重要な最新のエレクトロニクス用途に最適です。
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