中古 SHIBAURA U-ASH8100 #9226134 を販売中

ID: 9226134
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1997
Etcher, 6" 1997 vintage.
SHIBAURA U-ASH8100は、あらゆる研究所や産業実験室で使用するために設計されたウェットエッチング機です。これは完全に自動化されたマシンで、ユーザーはエッチング処理を正確に制御できます。シリコンやGaAsなどの素材をエッチングする機能を持ち、高い均一性と精度を備えています。このマシンには、エッチング処理をリアルタイムで追跡できるオンボードコンピュータが装備されており、パラメータの微調整と最適化が可能です。このエッチングマシンは、チャンバーとエッチングユニットの2つのパーツで構成されています。チャンバーはエッチング処理が行われる領域です。これは、防水ケーシング、自動ステージングプラットフォーム、およびエッチング液の温度、圧力、電力、流量を調節するための複数の制御センサーで構成されています。エッチングユニットは、フッ化水素酸などの高純度溶剤を使用して、エッチングされた材料の薄い層をチャンバー内のサンプルから除去します。SHIBAURA U ASH8100では、エッチングレート、エッチング深さ、エッチングパターンなど、目的のエッチングパラメータをプログラムできるクローズドループ方式も提供しています。パラメータが設定されたら、機械はリアルタイムでエッチングプロセスを調整して、目的の結果を達成します。ユーザーは、タッチスクリーンインターフェイスを介してエッチング処理を完全に制御します。サンプルを手動で操作するために、把握ツールを機械に取り付けることもできます。さらに、UASH 8100は、エッチング後の分析機能を提供し、ユーザーはエッチング処理と結果を確認することができます。内蔵のビデオシステムは、エッチングプロセスをリアルタイムで表示し、任意の異常を検出することができます。また、エッチング工程で発生する危険ガスから人員を保護するために、エアフィルター、発煙フード、ミストコレクターなどのさまざまな安全機能も備えています。全体として、U-ASH8100はユーザーに、シリコン、ヒ素ガリウム、石英などの材料で正確で均一なエッチングパターンを作成する機能を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと安全機能により、このマシンはラボベースの研究や産業用アプリケーションに最適です。
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