中古 SHIBAURA ICE/RPA 300 #9405822 を販売中
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ID: 9405822
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Remote plasma ashing system, 12"
Gases: O2, N2, He, H2, Ar, CF4
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN PC1 Source RF power supply: 3 kW
KYOSAN PC1 Vias RF Power supply: 1 kW
DAIHEN PC2 Microwave power supply: 3 kW
2005 vintage.
SHIBAURA ICE/RPA 300は、大量のプロセスアプリケーション用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。エッチング/アッシング結果の精度と精度を完璧に提供します。このマシンは、コンパクトなベースと、使いやすいようにモーター付きの負荷と駆動システムが付属している堅いブランクホールディングユニットで構成されています。高度な制御制御暖房システムは、100°Cから600°Cまでの温度制御機能を+/-3°Cの精度で提供します。加熱カートリッジは冷却回路が独立しているため、応答時間が速く、温度が安定します。SHIBAURA ICE/RPA 300は、速度、温度、電流、電力、圧力などのプロセスパラメータを制御できる強力なプログラマブルコントローラを備えています。コントローラは、手動入力なしでプロセスを迅速に実行するために、最大32個の処理レシピを格納することができます。カラータッチスクリーンと拡張されたコントロールパネルを備えており、オペレータがプロセスレシピを正確に設定して監視するのに役立ちます。機械は10-5 torrまで真空を維持することができる強力な真空ポンプが付いています及び望ましいエッチング/ashing環境を作成し、維持するために圧力の範囲で作動させることができます。ポンプは、精密エッチング/アッシングのための真空を維持するために、真空レギュレータを介して保護されています。SHIBAURA ICE/RPA 300は、圧力計とオゾンのオン/オフスイッチを備えており、オペレータがプロセス制御を維持するのに役立ちます。この機械は、放射線安全を念頭に置いて設計されており、赤外線シールドを使用して危険なレベルへの暴露のリスクを低減します。シールドには、必要に応じてシステムのシャットオフを開始するように設計された安全カットアウトと温度センサーが含まれます。SHIBAURA ICE/RPA 300は、製造、医療、研究用途に最適です。精密エッチング/アッシング機能を誇り、様々な素材を素早く正確にエッチング/アッシングできます。機械は耐久性があり、信頼性が高く、使いやすいので、大量のプロセスに最適です。
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