中古 SHIBAURA ICE 300S2 #9405824 を販売中
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ID: 9405824
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Asher, 12"
Gases: O2, N2, NH3
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN Source RF power supply: 5 kW
KYOSAN Vias RF power supply: 1 kW
2006 vintage.
SHIBAURA ICE 300S2は、各種基板のエッチング操作を可能にする最先端のエッチャー/アッシャーマシンです。エッチングにマルチゾーンアプローチを組み込んでおり、ユーザーは正確なエッチングのレシピと基板タイプを選択でき、プロセス全体で一貫性と品質を確保できます。ICE 300S2の高度な設計は、自動化された温度制御と高いスループットと再現性を実現する高度なカセット装置を備えています。高度な制御と設計により、各プロセスの最高のパフォーマンスと精度が保証されます。SHIBAURA ICE 300S2は、品質、効率、費用対効果を向上させるための高度な機能と利点を提供する堅牢で精密設計されたマシンです。これは、精密なエッチング制御のための3ゾーン温度制御システムを備えた高度な熱補償チャンバー設計で構築されています。また、新しいカセットユニットを搭載し、基板とエッチングのレシピを高速かつ効率的に切り替えることができます。また、高いエッチング率を誇り、サイクルタイムと高い歩留まりを実現しています。ICE 300S2の使いやすさは、運用の信頼性と肯定的なユーザーエクスペリエンスを保証します。完全に囲まれたハウジングとユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたユーザーは、エッチレシピを素早く簡単にセットアップして実行できます。また、内蔵の安全メカニズムとアラームを備えており、不注意なエッチング損傷を防ぎます。さらに、エッチレシピ管理マシンは、すべてのユーザー設定が細心の注意を払って保存され、各エッチングジョブに最適化されていることを保証します。SHIBAURA ICE 300S2は、幅広い用途に対応しています。このデバイスを使用すると、ウェーハ、チップ、集積回路など、さまざまな基板をエッチングできます。その高度なエッチレシピは、maquillage機能と高解像度パターンに近いことを可能にします。また、HAZMAT認証を取得しており、多層レジストおよび選択的エッチングアプリケーションを可能にします。ICE 300S2は信頼性が高く、信頼性が高く、精密なエッチングソリューションです。エッチングプロセスで最高の精度と優れた性能を提供するように設計されています。高度な機能と最先端の技術により、最も要求の厳しいアプリケーションで優れたエッチング結果を保証します。
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