中古 SHIBAURA ICE 300 #9405111 を販売中

SHIBAURA ICE 300は、高精度マイクロパターニングに使用されるドライエッチング、化学的補助プラズマシステムです。この装置は、アカデミア、マイクロエレクトロニクス、バイオ製造での使用に適しています。半導体、メガネ、セラミックスなど幅広い素材に適した汎用性、信頼性、ユーザーフレンドリーなエッチャー/アッシャーです。ICE 300は、ナノスケールまでの材料の精密かつ効率的なエッチングを提供する、13.56MHz発電機で構築されています。この発電機はまた、高安定圧力制御を提供しているため、精密なエッチング深度を達成することができます。この発電機は圧力室、アルゴン、酸素および/または窒素の源、および/またはマイクロ波蒸着システムに接続されており、エッチング深さ、マスクレベル、エッチング角度、およびエッチング幅を正確に操作できます。SHIBAURA ICE 300には、エッジとマスクの境界を定義するために使用される電子ビームガンがあります。これは、迅速かつ正確に所望のエッチング角度を設定することができます光学勾配サンプルモーションシステムを持っています。また、フルループRFパワーコントロールを備えているため、ユーザーは望ましいエッチングをすばやく達成し、高精度で再現性のある結果を繰り返すことができます。安全のため、ICE 300には反射窓があり、高エネルギー粒子がエッチングおよびアッシング工程中に人員に当たらないようにしています。これは、重大な事故を防ぐために多くの冗長性を備えたクローズドループ・プロセスです。SHIBAURA ICE 300は、アルミナやシリコンウェーハ、SiO2/SiN、ポリマー、有機材料など、さまざまな材料をエッチングすることができる汎用性の高いツールです。また、50µmまでの機能を含むマイクロパターンの製造にも優れた機会を提供します。また、ユーザーフレンドリーなエッチャーであるため、マイクロエレクトロニクスやバイオ製造アプリケーションに適しています。結論として、ICE 300は、マイクロエレクトロニクス、バイオ製造、およびその他のラボアプリケーション用の優れたエッチャーおよびアッシャーです。それは精密なパターン化および優秀な反復性を提供し、さまざまな適用のための信頼でき、ユーザーフレンドリーな用具です。