中古 SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9097207 を販売中

SHIBAURA ICE 300/CDE 300エッチャー/アッシャーは、基板表面を最大300mmまで正確かつ迅速に加工する高性能な自動パターニング装置です。このモデルは、最大5ミクロンの非常に高い解像度を生成することができます。これは、さまざまなプロセス化学に対応できる強力なモジュラーソフトウェア制御エッチングシステムを備えています。このユニットは、石英、集積回路用の基板、および不均一な地形を持つモノリシック基板を含む複雑な基板をサポートするように設計されています。ICE 300/CDE 300には、高精度ロボットアーム、基板表面を洗浄する洗練されたスクラバー、高周波超音波発生器など、いくつかの機能が搭載されています。自動化されたアームは、ナノメートル精度でエッチャー上に基板を正確に配置することができます。強力なスクラバーは、基板表面から極めて薄い材料層を除去することができ、パターニングプロセスのシームレスな遷移を可能にします。高周波の超音波発電機は一貫した、均一なエッチングの深さを保障します。SHIBAURA ICE 300/CDE 300は、強力なモーションコントロールソフトウェアを活用して、エッチングの深さや配置、温度、濃度、時間などのプロセスパラメータを正確に制御します。このソフトウェアを使用すると、ユーザーは隣接するパターン間の空間的な違いをデジタルでプレビューして制御することができます。その他のソフトウェア制御機能には、基板処理試験、テストポーリング、データ監視などがあります。これらは、ユニットのダウンタイムを削減し、スループットを最適化するように設計されています。ICE 300/CDE 300は、安全で信頼性の高い動作を保証するために、さまざまな安全プロトコルを使用しています。これには、CO2とHFの両方の濃度を監視する排気プロタラムマシンが含まれます。電流の漏れを監視する地面の欠陥の保護用具およびオペレータのmishandlingを防ぐ人間機械連結の資産。SHIBAURA ICE 300/CDE 300は、ウェットエッチング、ドライエッチングなどのさまざまなプロセス技術をサポートするために設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。高精度なパターニング機能を提供し、極めて正確で迅速な処理速度を実現します。このエッチャー/アッシャーは、すべての機能を正確かつ効率的に制御できる強力なソフトウェアモデルによってサポートされており、さまざまな安全プロトコルも提供しています。高度な機能を備えたこのマシンは、パターニングサービスのための非常に信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。