中古 SHIBAURA CDE 80 #9243622 を販売中
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ID: 9243622
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Isotropic poly etcher, 8"
Install type: Stand-alone
Etching method: Microwave-utilized chemical dry etch
Cassette interface:
SMIF Ready
Does not include load-port
25 Wafer cassettes
Etching chamber:
Single wafer etching
Microwave PS:
DAIHEN SGP-10B
2.45 GHz, 1kW
Pressure control (Std conductance valve control):
MKS 627AA
Gas:
Gas # Gas MFC size (SCCM)
1 O2 500
2 CF4 500
3 N2 200
4 CF4 100
5 CL2 200
Chiller:
TAITEC CH-402-BF-42P
Operating temperature: 70°C
Remote console
Status lamp
Power requirements: 200 V, 60Hz, 3 Phase
1996 vintage.
SHIBAURA CDE 80は、使いやすさと信頼性の高い結果を得るために設計された最先端のエッチャー/アスパーです。それは連続的で、信頼できる性能を保障するように設計されている特別に設計されていた熱ヘッドを特色にします。このサーマルヘッドは、さまざまな表面で高精度で高解像度の結果を生成するために、急速な加熱と冷却を可能にします。また、芝浦CDE-80は、エッチング工程をほこりなどの環境要因から保護するために、密閉チャンバーやコンフォーマルコーティングなどの一貫した技術を搭載しています。正確なエッチングを確保するために、CDE 80には最高品質の結果を保証するさまざまな機能が含まれています。レーザーコントロールユニットは、さまざまな材料の正しいパラメータを保証するためにさまざまなレーザー設定を提供し、高速スキャンユニットは表面積を正確にスキャンすることができます。トレーサビリティ機能の選択は、ユーザーの正確な生産プロセスを保証します。CDE-80の焦点面は調整可能であり、エッチング工程をより大きな制御できるように指定することができます。焦点平面を調整することで、ユーザーはエッチング工程の品質を向上させることができます。さらに、マシンに提供されるソフトウェアを使用して、マシンを構成し、さまざまなエッチングパターンを作成することができます。SHIBAURA CDE 80のデザインは使いやすく、使いやすいです。すべての必要なボタンとノブは、簡単に制御するための論理的な方法で配置され、明確なLCDディスプレイは、マシンの操作についてのフィードバックを提供します。マシンのエッジは人間工学に基づいた形状とデザインで設計されており、取り扱いと作業が快適になります。全体的に、SHIBAURA CDE-80 etcher/asperはさまざまな材料の精密エッチングを提供する信頼でき、効率的な機械です。人間工学に基づいた設計と統合技術により、使いやすく構成が容易になり、機能の選択により正確で効率的なエッチングプロセスが保証されます。強力なハードウェアと直感的なソフトウェアにより、CDE 80は、信頼性の高いエッチングとアスペイングマシンを必要とするすべての人に手頃な価格で信頼性の高いソリューションを提供します。
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