中古 SHIBAURA CDE-73 #9137189 を販売中

SHIBAURA CDE-73 etcher/asherは、半導体、MEMS、およびバイオメディカル産業向けに設計された、高性能で包括的な自動ウェットエッチング装置です。このエッチングシステムは、高い均一性、精度、信頼性を提供します。単位はステンレス鋼から組み立てられ、SiO2、 polysilicon、金属、nitridesおよびSiO2/Polyの積み重ねを含むあらゆるエッチングプロセスに、使用することができます。熱交換器、ガス処理機、プロセスステーションを備えています。高性能の熱交換器は急速な熱応答およびより大きい温度調整の正確さを提供し、精密なエッチングを可能にします。ガスハンドリングツールには、ヘリウム安全リリーフバルブ、金属オートタップ、クエンチ、排気バルブが含まれています。プロセスステーションには9つのプロセス容器ポートが装備されており、最大8つのプロセス容器を同時に使用できます。3〜4リットルの容量のプロセスタンクを備えたCDE-73は、圧力、温度、ガス流量、エッチング速度など、幅広いプロセスパラメータを提供します。アセットはまた、バブルを低減するのに役立つ革新的な冷間ガス焼入れモデルで、より大きなプロセス制御と安定性を提供します。SHIBAURA CDE-73は、調節可能な蓋、コントロールパネルガード、防音装置などの安全機能を備えています。また、統合された排気装置とガス流量検出器を備えており、圧力またはガス流量レベルが異常な場合には、洗浄プロセスを監視し、オペレータに警告するのに役立ちます。これらの機能はすべて、最先端のエッチングシステムを構築し、正確なエッチング機能、安全性の向上、および高い均一性をユーザーに提供します。このユーザーフレンドリーなエッチングユニットは、ユーザーがダウンタイムを最小限に抑えて品質の高いウェーハを迅速かつ簡単に製造するのに役立ちます。CDE-73の信頼性、精度、精度により、エッチングのニーズに最適です。