中古 SHIBAURA CDE 7-3A #9226076 を販売中

芝浦CDE 7-3Aは、リアクティブイオンエッチング（RIE）およびプラズマアッシング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。この単位は100nm/minの最高のエッチング/ashing率を提供する12"直径ターボポンプが装備されています。また、13.56MHz周波数で1〜600Wの電力を供給する低ノイズRF電源も備えています。また、CDE 7-3Aは、11インチ-L x 7。5インチ-W x 7。5インチ-Hを測定する内部スペースを備えた真空チャンバーを備えており、ユニットは10-4Paの真空環境内で動作することができます。低雑音のRF電源、ガス投与および供給システム、およびターボポンプの組合せは精密エッチングおよびashingを可能にします。SHIBAURA CDE 7-3Aには、可変圧力センサ、粒状シールド、加熱素子の範囲があり、それぞれ最適な圧力を選択し、二次反応を抑制し、高温を達成するために使用することができます。さらに、ユニットは、レシピとプロセス条件を格納するメモリを持っています。エッチャー/アッシャーは、レシピメモリに加えて処理パラメータを制御するために使用される直感的なLCDタッチスクリーンの利点もあります。全体として、CDE 7-3Aは100nm/minの最大エッチング/アッシング速度と最大動作圧力10-4Paのエッチングおよびアッシング材料に信頼性の高いプラットフォームを提供します。