中古 SHIBAURA CDE 7-3A #9226075 を販売中

SHIBAURA CDE 7-3Aは、高い信頼性と汎用性を備えたエッチング・アッシング装置です。デバイス微細加工の品質と歩留まりを向上させるために、信頼性の高い効率的なエッチングとアッシングを提供します。このシステムは、厚さ25ミクロンまでの材料の複数の層を処理することができます。それは2つのピクセルマッピング技術、速いスキャン点1の微細加工および速いスキャン点2の高精度パターニングが装備されています。CDE 7-3Aは、単一のセットアップを提供する使いやすいユニットであり、生産性を大幅に向上させるプロセスです。このマシンには自動駆動機能が搭載されており、プロセスステップを繰り返すと自動シーケンシャルエッチングとアッシングが可能です。さらに、ユーザーにとって有益な選択可能な機能を提供し、各レイヤーにとって最も効果的なパラメーターを選択することができます。SHIBAURA CDE 7-3Aには、プロセス手順とパラメータを表示するタッチスクリーンカラーモニターも装備されています。このユーザーフレンドリーな機能は、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスのセットアップおよび制御操作を簡素化するのに役立ちます。さらに、エッチング基板用のオートフィーダも付属しており、高品質とスループットを実現しています。電力要件に関しては、CDE 7-3AにはACまたはDC電圧を使用する三相電源が装備されています。このツールは、エッチング用のダイレクトドライブマイクロ波プラズマ源とアッシング処理用の高電圧DCプラズマ源を利用しています。この電源の組み合わせにより、基材と層厚に依存しない高いエッチング精度が得られます。SHIBAURA CDE 7-3Aは、高品質のデバイスの製造に最適な信頼性の高いエッチングおよびアッシング資産です。エッチングおよびアッシング処理を高効率にするための高度な機能を備えており、最高の精度と精度を保証するさまざまな電源を提供しています。さらに、タッチスクリーンモニターは簡単なセットアップと制御操作を可能にし、オートフィーダは高いレベルのスループットで高品質を保証します。