中古 SHIBAURA µASH 8100 #9236731 を販売中

SHIBAURA µASH 8100は、フォトマスク製造用に設計された高精度エッチャーとアッシャーです。この機械は、回路、コンタクトホール、アライメントマークを含むエッチング/アッシング要件において優れた性能を発揮するため、大手ICメーカーから信頼されています。Μ ASH 8100には、エッチング/アッシング操作に優れた性能と精度を提供する高精度コンポーネントが付属しています。最大12個のウェーハ/時間の最大容量を持ち、最大精度は100µmです。また、高度な真空技術を使用して、エッチング/アッシング操作時に高い清浄度を維持します。SHIBAURA µASH 8100は、操作と精度を容易にする直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースを誇っています。コントローラを使用すると、サイクルタイム、作業圧力、露出時間などのエッチング/アッシング設定をプログラムできます。コントローラには、エッチング/アッシングプロセスの問題を特定する自己診断機能も内蔵されています。機械は危険からオペレータ、また装置を保護する多数の安全対策が装備されています。また、8100 µASHは、ウェーハとマスクを自動的に整列させて正確なエッチングとアッシングを行う自動ウェーハマッピング機能を備えています。また、エッチング/アッシング動作中に安定した温度を保証する自動温度調整システムも備えています。様々な金属、シリコン、グラファイト、石英など様々な材料を加工することができます。SHIBAURA µASH 8100は、高度な自動化機能も備えており、ローラー制御システムでプログラムを簡単に行うことができます。このユニットには、あらゆるパターンの正確なエッチング/アッシングを可能にするスプロケット制御機構も含まれています。全体的に、µASH 8100は信頼性が高く、効率的で正確な高度なエッチング/アッシングシステムです。高精度で自動化された機能により、優れたエッチングとアッシングの結果を求めるICメーカーに最適なツールです。