中古 SHIBAURA µASH 8100 #9234515 を販売中

SHIBAURA µASH 8100は、精密なウェーハパターニングのために設計された、自己完結型の熱的に強化されたエッチング装置です。このシステムは、脆弱で繊細な基板にパターンをエッチングする際の優れた柔軟性と性能を可能にします。スタンドアロンまたは並列バッチ処理モードで動作する完全なインライン処理エッチャーです。このユニットは、フレームに取り付けられた主要なワークプラットフォーム、エッチングするウェーハを含むエッチングチャンバー、および個別の冷却チャンバーで構成されています。主な作業プラットフォームには、必要なパターン精度を達成するための独自の動き認識技術が装備されています。この技術により、プラットフォームはマイクロパターンを検出して追従し、さまざまなウエハ形状やサイズの剛性精度を維持することができます。長方形エッチングチャンバーは、エッチングプロセス中の均一な冷却および加熱用に設計されており、温度を効率的に調節するための特別な温度制御機械を備えています。ウェーハ表面全体に均一な温度分布と均一なエッチングが可能です。エッチングチャンバーには、静電ピンを備えており、ウェハを正確に整列させて高精度なパターンを作成します。ASH 8100 Μ、エッチングプロセス全体を正確に監視および制御するためのコンピュータ化されたプロセス制御ツールを備えています。このアセットは、より高い精度でパターンを検出するためのデュアルチャネル高感度検出器と、操作を容易にするための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。コンピュータ化されたプロセス制御は、自動処理、複数のプロセスを保存する機能、プロセスメニューオプションを切り替える機能などの追加オプションも提供します。SHIBAURA µASH 8100の冷却室はしっかりと密閉されており、冷却と換気に十分な気密性を確保しています。冷却モデル全体には、冷却室の後部に取り付けられた空冷ブロワーが搭載されています。この送風機は、エッチング処理の前にウェーハを迅速に冷却または加熱することができます。Μ ASH 8100は、包括的な基板パターニング用に設計された、オールインワンで使いやすいエッチング装置です。温度制御、モーション認識、およびコンピュータ化されたプロセス制御システムは、繊細で壊れやすい基板をエッチングする際に高い精度と信頼性を提供します。その冷却チャンバーは、ウェーハを熱損傷から保護し、ウェーハ表面全体に均一なエッチングが保証されます。高精度・高精度が求められる用途に最適です。