中古 SEZ SP 201 #293821357 を販売中

SEZ SP 201は、SEZグループが製造するエッチャー/アッシャーです。半導体・自動車業界の小型・中型ウェーハ・基板のエッチング・アッシングに最適です。このマシンはコンパクトなサイズで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスのおかげで使いやすいです。SP 201は1000 x 600 mmの寸法を持ち、20°C〜350°Cの温度範囲で動作します。最大加工面積は17 x 17 mmです。最大エッチング速度は毎秒70ミリメートル、最小エッチング速度は毎秒5ミリメートルです。また、250 x 250 mmの最大基板サイズにも対応可能です。この機械は4つのブラシレスモーターで駆動され、ロードロックチャンバー、圧力センサー、および統合されたガス供給装置が装備されています。また、内蔵の圧力制御、リアルタイムO 2およびCO 2測定、専用ジェネレータからのO 2供給も付属しています。SEZ SP 201には、PCベースのソフトウェア制御システムと産業通信インターフェースが装備されています。また、高度なROS品質管理とウェーハ歩留まり最適化ユニットも含まれています。機械は短い周期操作および温度制御された重要なエッチングを行います。また、正確な位置決めと安定したプロセス制御、高度な検査ツールも備えています。さらに、SP 201の高度な安全機能により、プロセス環境を保護できます。アクティブサーマルセンサー、エアシャッター機能付きの空気清浄機、排気ファンシステムが含まれています。このマシンは、自動ビジョンマシンなどのプロセスツールを統合できるオープンプラットフォームを備えています。全体として、SEZ SP 201は半導体および自動車産業向けの信頼性と費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。高度な安全機能を備えたエッチングプロセスを正確に制御し、長期的なエッチング性能とプロセスの信頼性を最適化します。