中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300は、半導体およびオプトエレクトロニクスデバイス製造における精密かつ効率的なエッチングおよびアッシング要件向けに設計された、高度な自動エッチャー/アッシャーです。これは、3つのゾーン拡散電源酸素プラズマ源を利用して、エッチング/アッシング効率を大幅に向上させます。さらに、この装置は反応種の調節可能な濃度を提供することができ、エッチング/アッシング操作と最終結果のより大きな制御を可能にします。このシステムは、Asher/Etcherモジュール、ネットワークコントローラ、および真空チャンバー、ドローバー、スプレーオン試薬管理ユニット、インターフェイスカード、電源、真空ポンプなどのさまざまなコンポーネントで構成されています。Asher/Etcherモジュールは、拡散および解離力を持つ酸素プラズマ源を使用してプラズマを提供する責任があります。SEZ SP 4300を動作させるには、真空チャンバーには、アサルゴン、キセノン、または酸素などの望ましいガスが充填されています。その後、反応性イオン化ガスがチャンバーに入り、独自のRFパワーアンプに遭遇し、プラズマが導入されます。このプラズマは、チャンバー全体に均等に分布する均一な場を作り出し、精密なエッチングとアッシング操作を可能にします。ネットワークコントローラは、エッチングおよびアッシング操作を制御するためのユーザーインターフェイスとソフトウェアを提供します。LAM RESEARCH SP 4300は、ドライエッチングとウェットエッチングの両方、ならびにオペレーション要件に応じた化学およびガスのプロセスを製造することができます。さらに、4段階のガス供給機を備えており、目的のプロセス濃度を再現可能かつ正確に調整できます。さらに、このツールは幅広い調整可能な操作パラメータを備えており、柔軟性に優れています。結論として、SP 4300は、半導体およびオプトエレクトロニクス製造の精密かつ効果的な自動エッチングおよびアッシング操作用に設計された、強力で人間工学に基づいた効率的なエッチャー/アッシャーです。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300は、幅広い調整性と柔軟性を備えており、エッチングとアッシングの精度と制御を大幅に向上させ、あらゆるエッチング/アッシング要件に最適なソリューションです。