中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #293821688 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300は、半導体製造の高度な生産性とプロセス能力を備えたフル機能のエッチャー/アッシャーです。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）や化学機械研磨（CMP）など、素材を素早く正確に除去するための多種多様なエッチングおよびアッシング処理をサポートします。高度なプロセス制御ツールを搭載したSEZ SP 4300は、高収量の生産環境に最適なソリューションです。LAM RESEARCH SP 4300は、サーマルセンサー技術で設計された信頼性の高いプロセスチャンバーで構築されています。このチャンバーは、低圧または高圧で動作することができ、温度とガス混合物の範囲で、最も要求の厳しい生産作業のエッチングまたはアッシングを可能にします。チャンバーはまた、粒子の汚染を最小限に抑えるために洗浄可能なコンポーネントで設計されているため、追加の洗浄サイクルは必要ありません。このチャンバーには、高精度の石英圧力トランスデューサと、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御するためのアクティブICR気化器が装備されています。プロセスチャンバーの上に、SP 4300には、最高の歩留まりを確実に達成するためのさまざまな高度なプロセスツールがあります。このマシンにはトランスポートサブシステムが装備されており、最大速度と信頼性でプロセスカセット全体を正確に輸送するように設計されています。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300は、独自のアルゴリズムとソフトウェアを使用してガスの流れ、温度、およびその他のエッチング/アッシングパラメータを正確に制御するオプションの自動エッチング制御装置（ECS）を選択できます。また、プロセスパラメータの遠隔監視とデータロギングを可能にするコンピュータインターフェイスも備えています。この最先端のマシンは、最大の生産性を可能にする機能を備えて設計されています。SEZ SP 4300には、高速サイクルタイムコントロールシステムが装備されており、スループットを向上させるためのエッチングとアッシングプロセス時間を短縮できます。機械にまたオペレータのための最高の安全の急速で、信頼できるウェーハのローディングおよび荷を下すことを提供する高度のロードロックユニットがあります。全体的に、LAM RESEARCH SP 4300は、半導体製造における最大の歩留まりと精度のための高度なプロセス制御と生産性機能を備えた高性能エッチャー/アッシャーマシンです。低コストで信頼性の高い操作性と優れたプロセス制御ツールにより、このモデルはあらゆる生産環境に最適なソリューションです。