中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9276822 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 323は、集積回路やその他のデバイスの製造に低コストで高スループットエッチングソリューションを提供するアッシャー装置です。狭いスペースで信頼性の高いエッチング性能を必要とする人や、より大きな機械に代わる便利な選択肢を探している人にとっては、その小型でクイックスタートアップ時間が魅力的です。SEZ SP 323はリアクティブイオンエッチング（RIE）プロセスを使用しており、シリコン、二酸化ケイ素、金属などさまざまな材料をエッチングすることができます。その統合された構造および洗練されたソフトウェア制御システムは精密なエッチングおよび正確な結果を保障します。また、エッチング工程とサンプルクリーンチャンバーの両方に不活性ガスと真空環境を備えており、一貫性のあるエッチングプロファイルを確保しています。このユニットには、高精度な動き、強力なソフトウェア制御、自動化されたプログラム可能な機能など、多くの高度な機能が含まれています。さらに、チャンバーのサイズをカスタマイズする機能、エッチング力の大きさ、使用するレシピの種類など、さまざまなオプションを提供しています。これにより、ユーザーは特定のニーズを満たすためにエッチングプロセスを最適化する柔軟性が得られます。LAM RESEARCH SP323は、フルタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えています。これにより、プレート選択、パターン定義、エッチングランピング、パラメータ設定、ツールメンテナンスなど、すべてのエッチング機能に簡単にメニューナビゲーションとアクセスできます。ユーザーはまた、再利用可能なパターンをエッチングするためのレシピを保存するために、このインターフェイスを使用することができます。SEZ SP323は、オープンオペレーションとクローズドオペレーションの両方を提供するように設計されています。これは、資産が安全で清潔で保護された環境またはオープンで汚れた保護されていない環境で一貫して使用できることを意味します。これにより、研究室、工業製造、学術的な設定など、さまざまなアプリケーションに適しています。このモデルはまた、効率的で信頼性の高いように設計されています。それは高度な電力、温度、真空システムだけでなく、洗練された空気圧を組み込んでいます。マルチプレックスコントローラにより、複数のエッチング操作を同時に実行でき、自己診断とアラームにより、エッチング処理中に潜在的な問題が発生する可能性があります。全体的に、SP 323はコンパクトなパッケージで高いレベルの柔軟性と精度を提供します。その信頼性の高いエッチング特性と自動化された機能により、費用対効果が高く効率的なエッチングソリューションを求めている人に最適です。