中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293824790 を販売中
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323は、幅広い材料エッチングおよびアッシング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は高スループットに最適化されており、高速ターンアラウンドアプリケーションに適しています。このシステムは、12インチのマルチチャンバープロセスチャンバーを使用して、さまざまなサイズと材料のウェーハを処理できます。SEZ SP 323は最新の技術で構築されており、特許取得済みのSEZ Multi-Reactor Technology TMを搭載しているため、1つのチャンバーでさまざまなエッチングおよびアッシング化学物質を提供できます。さらに、最先端のRFおよびDCプラズマソースを使用して設計されており、ウェーハ間およびチャンバー間で均一で再現性のあるプロセス結果を保証します。このユニットは、ウェーハバッチ用途において高い再現性を備えた精密制御を提供します。LAM RESEARCH SP323は、圧力モニタリング、温度制御、湿度モニタリング、粒子ろ過、蒸気供給など、幅広いプロセスサポート機能も提供しています。このマシンはまた、ユーザー設定可能なプロセスパラメータとRFウェハマッピングソリューションの統合のためのプラットフォームを提供します。これにより、さまざまなチャンバー間でプロセスパラメータを正確に制御できるため、プロセスエンジニアはレシピを構築し、バッチ後にプロセスの一貫性を維持する自由度が高くなります。SP323は、直感的なグラフィカルインターフェイスとデータベース接続を備えた包括的なユーザーインターフェイスで設計されており、ユーザーはレシピとプロセスパラメータを簡単にカスタマイズできます。このツールは、リアルタイムデータアクセスやレポート機能など、柔軟なリモートプロセス監視と制御も提供します。全体として、SEZ/LAM RESEARCH SP323は、幅広い材料エッチングおよびアッシング用途に理想的なエッチャー/アッシャーソリューションです。高度なプロセスパラメータ制御、正確な再現性、プロセス結果、幅広いプロセスサポート、直感的なユーザーインターフェイスを提供し、迅速なターンアラウンド、複雑な製造プロセスに非常に適しています。
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