中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293757562 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 323は、加工ニーズに柔軟で費用対効果の高いツールをユーザーに提供する特殊なエッチングおよびアッシング機器です。金属、半導体、誘電体、ガラスなど、さまざまな材料の高品質、再現性のあるエッチングおよびアッシング用に設計されています。SEZ SP 323システムは、操作とメンテナンスが容易な信頼性の高いエッチング/アッシングユニットです。LAMの研究SP323は高周波プラズマ発電機が装備されています；この強力な発電機は、選択した基板に薄い層と構造をエッチングするために使用されます。この発電機は必要なエッチングパラメータ、圧力、温度を生成し、プラズマガスの選択とともに、ユーザーが異なる材料でエッチングとアッシングを正確に実行することができます。LAM RESEARCH SP 323には、エッチング工程中の基材の熱安定性をサポートするように設計された発熱体が付属しています。このマシンは自動スライス機能を備えており、レイヤーごとにエッチングパラメータを自動的に設定することで、複数のエッチング手順を実行できます。この機能により、エッチング処理が簡単かつ効率的になります。SP323には、複数の多段ポンプ、真空ゲージ、バルブで構成される洗練された真空ツールが装備されており、ワンステップで安全に制御された真空プロセスを保証します。自動化されたレシピ管理プロセスにより、一連のレシピを設定してプロセス結果を最適化し、コスト削減につながる運用時間を短縮できます。ユーザーは、SEZ SP323のタッチスクリーンHMIを使用してエッチング処理を正確に監視および制御することもできます。このタッチスクリーン表示は圧力、温度およびガスの流れの設定を含むすべてのプロセス情報を表示します。また、ユーザーが簡単にエッチング処理を監視、設定、制御できるユーザーフレンドリーなインターフェースも備えています。SEZ/LAM RESEARCH SP323は、複雑な構造を作成し、困難な材料をエッチングするために必要なパラメータ、プロセスの柔軟性、精度をユーザーに提供するオールインワンのエッチング/アッシング資産です。幅広い素材に対応可能で、複雑で高品質な部品の製作に最適です。