中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9397342 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、エレクトロニクス業界向けに特別に開発されたエッチャー/アッシャーです。様々な素材をエッチング・洗浄することができる幅広いチャンバプロセスツールです。このマルチチャンバー、マルチプロセスエッチャー/アッシャーは、最先端のプロセス制御とパフォーマンスを備えているため、あらゆる生産環境で信頼性が高く堅牢なツールです。SEZ SP 304には、エッチング、クリーン、ストリップ、リンスの4つの統合チャンバーが装備されています。エッチチャンバーは、再現可能なプロセス制御を維持しながら優れた性能を提供するように設計されています。高性能イオン源を搭載し、幅広いプロセスパラメータを簡単に調整できます。クリーンチャンバーは、磁気支援パルスプラズマ洗浄を利用してプロセス制御を最大化し、迅速なサイクルタイムを可能にします。ストリップ室は材料の不要な層の速く、有効な取り外しを提供するように設計されていますが、洗浄室は基質が機械から取除かれる前に最終的な洗浄を提供するように設計されています。LAM RESEARCH SP 304の高度な制御システムは、すべてのプロセスパラメータの自動化、特定のプロセス要件のためのレシピのカスタマイズを可能にします。このシステムは、統合されたプロセスモニタリングによってさらに強化されており、すべてのプロセスパラメータを継続的に監視し、再現性と品質を保証します。SP 304は、幅広い基板サイズに対応できる大容量プロセスチャンバーを備えています。また、さまざまなサイズや形状の取り扱いを可能にする様々なリフティングメカニズムを装備することができます。SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、包括的な制御と先進技術とともに、スクラップとダウンタイムを最小限に抑えて欠陥のない結果を保証するように設計されています。SEZ SP 304は、信頼性が高く、堅牢で費用対効果の高いプラットフォームで、真の比類のないパフォーマンス、品質、およびスループットを提供します。これは、さまざまな材料の低コスト、信頼性、高性能エッチングを求めるエレクトロニクス業界に最適なソリューションです。