中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293818314 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、半導体製造用に設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。優れたスループットと精度で半導体材料をエッチング、灰、アモルファイズする機能を備えています。チッププロトタイピング用フォトレジストマスクのエッチングやアモルファイズ、LED、 TFT、 LCD加工用の表面再研磨に最適です。SEZ SP 304は、幅広い基板構成に対して優れた均一性とプロセス再現性を提供する高度なスカラー制御システムを搭載しています。このユニットを使用すると、さまざまな処理パラメータと作業時間を正確に調整できます。これは、即座に変更するか、機械内で作成されたプログラムからロードすることができます。また、LAM RESEARCH SP 304は、高出力のRFジェネレータを採用しており、様々な基板に高スループットエッチングとアッシングが可能です。SP 304は、エッチングとアッシング機能を強化した独自の組み合わせにより、基板のエッチングとアッシングを迅速かつ高精度に行うことができます。これは、etchesourceとashersource、高精度エッチングとアッシングのために組み合わせまたは連続で使用することができるプラズマの2つの別々のソースを通じて達成されます。DCバイアス源とマイクロ波源の両方を使用することで、エッチングとアッシュ処理を同時に実行でき、実行時間を短縮できます。SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、基板の積載を容易にし、アッパーデッキへのアクセスを向上させるツインチャンバー設計も採用しています。上部チャンバーは複数の目的を備えており、正確な温度制御のための石英プレートヒーターが装備されています。これにより、一貫した基板温度が保証され、プロセスの再現性が向上します。SEZ SP 304は、さまざまな半導体材料に優れたスループットと精度を提供する強力なエッチャー/アッシャーです。高度なスカラー制御ツール、ツインチャンバー設計、エッチングおよびアッシング特性の強化により、高精度で一貫したスループットでエッチング/アッシング基板を製造するための信頼性の高い再現性の高いプラットフォームを提供します。