中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293768125 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、幅広い用途に対応する信頼性と高度なエッチャー/アッシャーです。それは耐久であるために造られ、高いスループットを提供している間精密で、一貫した結果を提供します。SEZ SP 304は、静止したスプリット温度帯のチャンバーと、優れたプロセス制御を可能にする調整可能な二重圧力ガス分配装置を備えた堅牢な機械設計を備えています。さらに、チャンバーはより大きな基板を収容することができ、プロセスからアウトガスを確実かつ効率的に避難させるように特別に設計されています。システムには、ユーザーに直接利益をもたらす多くの機能が装備されています。これらの特長の中には、使いやすいユーザーインターフェイスとカスタマイズがあり、9つの定義済みプロセスレシピを提供し、チャンバー全体でのマルチゾーンプロセスと温度制御のオプションを提供します。このユニットには、エッチングプロセスを厳密に制御できる高度なプロセスコントローラと、障害が発生した場合の診断とトラブルシューティングを支援する高度なインテリジェント統合診断マシンも含まれています。LAM RESEARCH SP 304は、半導体製造業における幅広い応用の可能性を秘めています。これは、ウェットエッチング、カーボン除去、酸化物エッチングなど、さまざまなプロセスを使用して基板のエッチングとアッシングのために設計されています。4インチ、6インチ、8インチのウェーハを含む、小型から大型まで、さまざまなサイズのウェーハを扱うことができます。SEZ LAM SP 304エッチャー/アッシャーは、信頼性と効率性が証明されており、半導体業界の厳しい要件を満たす一貫した結果を提供します。SEZ/LAM RESEARCH SP 304は、高速な処理速度、タイトなプロセス制御、シンプルなユーザーインターフェースにより、製造ニーズに最適なパフォーマンスを提供します。