中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9217507 を販売中

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ID: 9217507
Spin etcher, 8" (2) Shutter door load ports Open cassette with manual cassette loading Standard wafer handling with wafer backside and front side operation ATM407 Robot handling with CYBEROPTICS laser mapper Vacuum ceramic end effector single sided (2) ECO Grippers for wafer transfer Standard pin chuck 200/200/200 DIW Rinse arm N2 Dry arm Medium dispenser arm Single HEX heater Heat exchanger USF100 Ultrasonic flow meter (Chemical flow meter) Chemical cabinet (CDS) Integrated PDB Shutter load port open / Close motor controller missing Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz, 60 A 2010 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203は、最先端の自動化された機能と、表面を迅速かつ効率的に洗浄する強力な能力を備えた高度なエッチャー/アッシャーマシンです。これは、多様な産業プロセスにおける信頼性の高い、安全な操作のために設計されています。このマシンは、ダウンタイムとメンテナンスのダウンタイムを最小限に抑え、ハードサーフェスの頻繁なディープクリーニングを必要とする企業に最適です。SEZ SP 203は、金属、プラスチック、コーティング、誘電材料、ガラスなどのさまざまな材料を処理するための高精度の自動制御を提供します。それは温度設定の精密な制御のための強力な二重頻度LCDのパネルが装備されています、また部屋の中の温度を制御し、一貫した保つために作り付けファンを特色にします。さらに、機械の性能が低下し始めたときにユーザーに警告する自己診断システムを備えており、修理およびメンテナンス担当者に可能な限り迅速に正確な情報を与えることができます。LAM RESEARCH SP 203には、室内雰囲気から廃棄物を除去するための排気システムが統合されており、安全で効率的な処理が可能です。安全シャットオフや絶縁封じ込め襟などの安全機能が内蔵されており、操作中にユーザーが保護されることをさらに保証します。また、均一な結果を必要とする操作のために、SP 203にはPLC (Programmable Logic Controller)システムが搭載されており、さまざまなプログラマブルなパラメータをすばやく保存、編集、実行できます。また、異なる基板やチャンバーサイズにも対応可能で、さまざまな構造材料を使用することができます。結論として、SEZ/LAM RESEARCH SP 203は、信頼性の高い信頼性の高いパフォーマンスで最高品質のエッチングおよびアッシング操作を提供するために、最先端の自動化機能と最高レベルの安全機能を提供します。堅牢な構造、一貫した温度、および設定可能な機能を備えたSEZ SP 203は、効率や電力を犠牲にすることなく、均一な結果を達成することができます。
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