中古 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293593037 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH SP 201は、最先端の高精度プラズマエッチングおよびアッシングシステムです。精密な配置、選択的除去、方向性表面の質感、誘電体の繊細なエッチングを必要とする用途に最適です。オプションのバイアス電圧でRF電源によって生成されるプラズマを利用して、半導体、金属、プラスチックなどの異なる材料の基板上の複雑な構造を高品質にパターン化することができます。LAM RESEARCH SP201には、25cmのウエハサイズ、2〜3。3 W/cm2のガス消費電力平均、および25cmのターゲット間ウエハ距離が装備されています。また、1250°Cの最高温度と30mAまでの電流範囲を備えています。これらの機能は、エッチング業界で最高品質の結果を達成することを可能にする高レベルの汎用性と精度を作成するために組み合わされます。SEZ/LAM RESEARCH SP201は、エッチングとアッシングの精度と精度を向上させるように設計されており、RFソースと基板の最適なマッチングを実現する「オートチューン」機能を備えています。これにより、最終的にはより高いスループットと品質が向上します。さらに、フローティング高効率の真空ポンプ、ウェハレベルのキャリブレーション、自動レベリングチャック、精密なソフトウェアコントロール「エッチレート追跡」、および正確な表示のための強力なコンピューター制御LCDディスプレイを備えています。SEZ SP201は、継続的なサポートとメンテナンスを提供する熟練したエンジニアのチームによって維持およびサービスされています。リスクフリー運転を確保するために、圧力リリーフバルブやガスレギュレータモニターなどの特殊な安全機能が搭載されています。安全対策は、プラズマ操作に関連する健康上の懸念からオペレータを保護するために実施されています。全体として、LAM RESEARCH SP 201エッチャー/アッシャーは、優れた精度とスループットでエッチングとアッシングを行うための信頼性の高い精密な装置です。精密な配置、選択的除去、方向性表面の質感、異なる基板の繊細なエッチングを必要とする用途に適しています。高い精度と一貫性を提供するマシンをお探しの方には、SP 201が理想的な選択肢です。