中古 SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9394342 を販売中
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SEZ RST 201-8/6は、半導体デバイスの製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチング・アッシャー等の半導体装置の製造・流通を専門とする多国籍企業LAM RESEARCH社が製造しています。このモデルは、パターン化されたサファイア基板などの半導体ウェーハ表面から材料の薄い層を除去するために設計されています。ウェットエッチング装置で、ウェーハを目的の形状やサイズにエッチングするためのケミカルソリューションを採用しています。SEZ/LAM RESEARCH RST 201-8/6は、液晶タッチスクリーンインターフェイスと高度なパラメータ設定とエッチング処理を制御するためのソフトウェアを備えた完全に自動化されたコンピューター制御システムを備えています。広い温度範囲でエッチング用にプログラムすることができ、プロセス中にエッチング速度を調整することができます。このユニットには、エッチング前にウェーハを洗浄するための裏面スクラバーと、追加のエッチングのための塩素の生産を制御するガス販売代理店が含まれています。エッチング自体は、エッチング中にウェーハを回転させる円形のチャンバーで行われます。チャンバー自体は2つの回転蓋で構成され、ウェーハは中央シャフトの周りを回転します。レーザーのビーム溶接が維持の仕事のための部屋を消すのに使用されています。さらに、RST 201-8/6には、漏れや事故を検出するセンサーが装備されています。SEZ RST 201-8/6は、最大8インチのウェーハを同時にエッチングすることができます。エッチングレートは6nm/minの正規化されていますが、エッチングされる材料とレーザーの出力に応じて、このレートを30nm/minに増やすことができます。また、小規模試験走行と大規模生産走行の両方に対応可能です。LAM RESEARCH RST 201-8/6は、最小線幅0。1ミクロンの基板のパターニングから複雑な3D形状の作成まで、幅広い用途で使用できます。これは、幅広い半導体製造プロセスで使用できる信頼性と費用対効果の高いツールです。
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