中古 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #9099677 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH RST 101は、業界をリードするプラズマ強化化学蒸着（PECVD）およびドライエッチング用途向けの高性能処理を提供するプラズマエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、最大プロセスチャンバーのサイズが8立方フィートであり、小アスペクト比と大アスペクト比の両方の基板を処理することができます。最新のエッチャー/アッシャー技術を活用して、SEZ RST 101は、そのサイズクラスで最高のスループットを達成することができます。それに有効な、少量プロセス部屋、有効なガス流れの配達システムおよび調節可能なプロセスウィンドウがあります。エッチング中に反応物を基板から洗い流すように設計されており、精度と精度を向上させます。小型および大型ウェーハ基板用のカスタムレシピを作成することができる強力な柔軟性がユーザーに提供されます。LAM RESEARCH RST-101エッチャー/アッシャーには、ウェーハエッチングプロセスに関する詳細なフィードバックを提供するために設計された統合診断パッケージとソフトウェアが装備されています。高度なオートメーション機能で構成されており、プロセス条件に基づいて配送、均一性などを自動的に調整します。このシステムは、等方性および異方性エッチング、方向性エッチング、選択性のためのハードマスキング、薄膜スタックアプリケーション用の特殊エッチングなど、さまざまなエッチングを実行するようにカスタマイズできます。さらに、エッチャー/アッシャーを使用してウェーハ表面に保護コーティングまたは層を作成し、表面を汚染物質から保護し、デバイスの性能を向上させることができます。RST-101エッチャー/アッシャーは、ISO 5クラス定格のクリーンルーム環境で動作するように設計されています。電子キャビネット、Eストップボタン、インターロック、プロセス室圧力監視など、最高水準の安全性を確保するさまざまな機能を備えています。このデバイスには、レーザー源の制御システムもあり、レーザーの電力と持続時間を正確に制御して、品質のバリエーションのない一貫した製品を保証することができます。要約すると、SEZ/My SEZ RST-101 etcher/asherは、高性能で信頼性の高いデバイスであり、精度と精度を備えたエッチングおよびアッシャー小型および大型アスペクト比ウェハに使用できます。高度な安全性を確保するための最新の機能と、プロセス条件に基づいて配送、均一性などを調整する高度なオートメーション機能を備えています。エッチャー/アッシャーには、カスタムレシピを作成したり、ウェーハの表面に保護コーティングを作成する機能もあります。ISO 5クラスの定格を持つクリーンルーム環境で動作するように設定されています。LAM RESEARCH/My LAM RESEARCH RST 101エッチャー/アッシャーは、半導体業界のアプリケーションに最適なデバイスです。