中古 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293652611 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH RST 101は、多種多様な用途で最適なエッチングとアッシング結果を提供するように設計された高温エッチング/アッシュ装置です。最新のRF・DC技術を活用し、最適な性能と使いやすさを実現しています。このユニットは、1つのチャンバーで最大3つのウェーハを処理するように設計されており、1回に最大3つの基板を処理できるロードステーションが含まれています。SEZ RST 101は、エッチング/アッシュパラメータを正確に制御するためのセグメント化された加熱ゾーンを備えています。温度は60°Cと110°Cの間で、調節可能なガスの流れおよび圧力および調節可能な反作用の部屋のサイズと置くことができます。この機械は高い選択的なエッチングおよびアッシングを、一貫して良質の結果と可能にします。LAM RESEARCH RST-101には、独自の「マルチプロセス」制御ツールもあり、最大7つのエッチング/灰の組み合わせを選択できます。このアセットを使用すると、パラメータをリセットしたり、新しいセットアップでやり直すことなく、さまざまなプロセスをすばやく切り替えることができます。さらに、このモデルは、事前にプログラムされたetch/ashプロファイルのライブラリへのアクセスをユーザーに提供し、プロセスをさらに簡素化します。最後に、RST-101には、パラメータと化学選択を監視および調整するために使用できるソフトウェアパッケージが付属しています。エッチング後のクリーンアップを必要とするウェーハには、SEZ/LAM RESEARCH RST-101は、最大1200 RPMで動作可能なスピンドライヤを内蔵しています。このユニットはまた、より大きなプロセス制御と柔軟性を可能にするオプションの範囲を運びます。LAM RESEARCH RST 101は、精密なエッチング/アッシング結果を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。使いやすく、優れた結果をもたらします。さらに、この機器はプロセスを正確に制御するさまざまな高度な機能を採用しているため、ユーザーが探している正確な結果を確実に得ることができます。