中古 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6は、半導体デバイス製造の金属化プロセスとして適用可能な高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、大量の生産アプリケーションだけでなく、細かく詳細なライン作業とパターン定義を必要とするアプリケーションに最適です。SEZ RST 100-6は、最大200 mm x 200 mmの基板処理用に設計されており、デフォルトのフィーチャーサイズは0。35 umで、0。20 umまで調整可能です。高分解能の抵抗レベルにより、Si、 SiO2、ポリシリコン、アルミニウム、酸化アルミニウムの微細ラインをエッチングできます。単位は感光性の抵抗および他の材料をエッチングするのに使用される水晶か陶磁器のCl2/O2源が付いている水晶か陶磁器のサセプターの部屋を含んでいます。LAM RESEARCH RST 100-6は、サイドウォールに材料を取り付けることなく、クリーンで高解像度のラインを生成する低圧、低温プロセスを利用しています。この機械は、正確な温度とオゾン制御、ならびにスループットを向上させるためのプレートのガンマ露出を提供します。このツールには、低圧および低圧プロセスも含まれており、トータルプロセスを最大10％削減できます。このアセットは高いプロセス一貫性を提供し、最小限のスキャミングを必要とするアプリケーションに使用できます。さらに、統合ビジョンテクノロジーにより、最適なウェーハのリアルタイムモニターとインラインウェーハの選択が可能になり、精度が向上し廃棄物が削減されます。RST 100-6は、ICAM （Integrated Computer-Aided Manufacturing）機器ソフトウェアを使用して制御され、あらゆるワークステーションからシステムをネットワーク制御できます。全体として、SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6エッチャー/アッシャーは、大量かつ長期的な生産ニーズに合わせて設計された高精度で自動化されたユニットであり、金属化プロセスに伴うコストを削減し、多くの半導体デバイス製造アプリケーションに最適です。