中古 SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH MCM 203は、高精度・高精度・再現性を同時に実現する高度なエッチング/アッシング装置です。このシステムは、エッチング/アッシングプロセスに費用対効果の高いソリューションを提供することにより、集積回路（IC）メーカーのニーズを満たすように設計されています。このユニットは、1630 x 580mmの小さなフットプリントで提供され、425 x 425mmの標準的な最大プレートサイズを備えています。SEZ MCM 203は、材料層を形成する研磨作用と機械スクラブを使用して3段階のプロセスで、エッチングとパターン集積回路に特別なマルチケミカル機械研磨機を使用しています。プレート表面全体にわたる工具の均一性は、正確な接触制御、低消費電力の設定、および制御された加速によって保証され、スループットと歩留まりが向上します。このアセットには、フォトレジストの薄膜エッチングおよびアッシング用の耐腐食性ALD/CVDプラズマパルスモデルが搭載されています。この装置は6Mbarの真空内で動作し、コンタミネーション制御可能なベーク温度で500m/sまで加速します。MCM 203は9KW空冷RFジェネレータシステムで設計されており、さまざまな基板にわたる迅速かつ再現性のあるウェーハイメージングを可能にします。SEZ/LAM RESEARCH MCM 203は、大量生産の要求に対応するように設計されたトップオブラインのエッチャー/アッシャーです。このユニットは、自動消火器、警報機、インターロックなどの堅牢な安全機能を備えています。さらに、ステンレス、シルバーメッキ銅、フェノールエポキシボードなど、最高品質の材料で構成されています。このツールは、障害が発生した場合に操作のヒントとトラブルシューティングを提供できる知識豊富な技術者によって完全にサポートされています。