中古 SEZ / LAM RESEARCH FM 202 #9226924 を販売中

SEZ / LAM RESEARCH FM 202
ID: 9226924
ウェーハサイズ: 8"
Backside HF cleaner, 8".
SEZ/LAM RESEARCH FM 202エッチャー/アッシャーは、最先端の設計を備えた高度で高精度な加工スペースです。このシングルウェーハ加工ツールはフットプリントが小さく、幅広い生産および研究アプリケーションに最適です。SEZ FM 202エッチャー/アッシャーは、9インチ、300 mm、または400 mmウェーハキャリア、統合スクラバー、およびフル機能の制御機器を備えたコンパクトな設計です。それは溶媒および粒子の汚染物を最小にするために完全な周囲盾を備えています。また、単一の入口オペレータインターフェイスからの自動塗りつぶしとドレインを備えており、完全な診断スイートでクローズドループ処理を可能にします。LAM RESEARCH FM 202エッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングおよびアッシング用途に、正確で自動化された反復可能なプロセスを提供します。また、アスペクト比の高いエッチングなど、プロセスに不可欠なアプリケーションでも高価値のプロセスを実行できます。FM 202は、その高度な技術により、優れたエッチングの均一性と機能制御を保証します。SEZ/LAM RESEARCH FM 202は、業界で最も先進的なプロセス制御システムの1つです。洗練されたリアルタイムモニタリングシステムを提供し、あらゆるアプリケーションに最適な処理を保証します。直感的なオンポイント情報により、生産のスピードアップと合理化を実現します。このユニットは、お客様の特定のニーズに容易に適応可能であり、ユーザーのプロセスの好みを統合するためにカスタマイズすることができます。SEZ FM 202エッチャー/アッシャーも優れた安全機能を備えています。それはさまざまな最も困難な環境に取り組むように設計されており、安全規制に準拠しています。UL 1604認定、CSA認定、CE認定。LAM RESEARCH FM 202は、特殊な消防管制機、高揚力セキュリティゲート、大型チャンバーを備え、安全で安全なエッチング体験を提供します。FM 202エッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適です。優れた性能を提供し、正確なプロセス制御を保証し、安全で効率的な操作のための高度な安全機能を備えています。
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